Compatibility of 3-D printed devices in cleanroom environments for semiconductor processing/zh
3D列印有可能徹底改變客製化低成本科學設備的製造，並且許多自行設計的應用已經實現和展示。然而，3D 列印設備在用於半導體處理的無塵室中的適用性並不那麼簡單，因為受控環境對允許的材料和物品有嚴格的要求。這項工作透過分析三種可能合適的聚合物（聚乳酸 (PLA)、丙烯腈丁二烯苯乙烯 (ABS) 和聚丙烯 (PP)）來研究在無塵室中使用 3D 列印的機會，適用於兩種不需要特殊化學相容性的應用：客製化單晶圓儲存盒和用於計量系統的晶圓定位器。所設計的設備透過引入對非標準形狀或尺寸樣品的支援來補充商業選擇，同時降低通常非常昂貴的潔淨室設備的價格。結果表明，用 PLA 和 ABS 3D 列印的單一晶圓盒產生的顆粒與商業同類產品一樣少，而在自印 PP 盒中儲存的晶圓產生的顆粒略多。儘管如此，所有晶圓上的顆粒數量都處於相同的數量級，這表明 3D 列印盒子並不是重要的顆粒源。 3-D晶圓定位器似乎只會導致所操作晶圓上的顆粒增加，而機械部件的磨損會產生大量可能分散到環境中的顆粒。因此建議定期清潔這些零件，並且在無塵室環境中的適用性將取決於清潔度限制。元素分析表明，3D 列印物體除了來自著色劑的雜質外，不含任何其他有害金屬雜質。因此，對於可能存在金屬污染問題的用途（包括半導體加工），應優先使用具有自然色的 3D 列印長絲。最後，本研究中考慮的 3D 列印長絲已被證明能夠耐異丙醇和去離子水，這對於在無塵室中有效清潔 3D 列印物件至關重要。結果表明，簡單的 3D 列印物件（例如晶圓盒或鑷子）並不是明顯的污染源，因此與商業同類物品一樣適合在無塵室中使用。
- 晶圓盒原始檔- 包含晶圓盒的 SCAD 和 STL 文件
- 樣品定位盒的來源文件- 包括晶圓盒的 SCAD 和 STL 文件
