Contenido
- 1 Artículos
- 2 Palabras clave
- 3 Google Académico
- 4 Artículos
- 4.1 M. Datta y D. Landolt, “Aspectos fundamentales y aplicaciones de la microfabricación electroquímica”, Electrochimica Acta, vol. 45, núm. 15-16, págs. 2535-2558, 2000.
- 4.2 D. Landolt, “Aspectos fundamentales del electropulido”, Electrochim. Acta, vol. 32, núm. 1, págs. 1 a 11, 1987.
- 4.3 D. Landolt, PF Chauvy y O. Zinger, “Micromecanizado electroquímico, pulido y estructuración de superficies de metales: aspectos fundamentales y nuevos desarrollos”, Electrochim. Acta, vol. 48, núm. 20–22, págs. 3185–3201, 2003.
- 4.4 JB Mathieu, “Electropulido de titanio en solución de ácido perclórico y ácido acético”, J. Electrochem. Soc., vol. 125, núm. 7, pág. 1044, 1978.
- 4.5 R. Vidal y C. West, “Electropulido de cobre en ácido fosfórico concentrado .1. Hallazgos experimentales”, J. Electrochem. Soc., vol. 142, núm. 8, págs. 2682–2689, 1995.
- 4.6 R. Vidal y C. West, “Electropulido de cobre en ácido fosfórico concentrado .1. Hallazgos experimentales”, J. Electrochem. Soc., vol. 142, núm. 8, págs. 2682–2689, 1995.
- 4.7 D. Landolt, PF Chauvy y O. Zinger, “Micromecanizado electroquímico, pulido y estructuración de superficies de metales: aspectos fundamentales y nuevos desarrollos”, Electrochim. Acta, vol. 48, núm. 20–22, págs. 3185–3201, 2003.
Artículos
Palabras clave
Google Académico
- electropulido
- electropulido de cobre
- electropulido de cobre con ácido fosfórico
Artículos
M. Datta y D. Landolt, “Aspectos fundamentales y aplicaciones de la microfabricación electroquímica”, Electrochimica Acta, vol. 45, núm. 15-16, págs. 2535-2558, 2000.
- Historia: comenzó hace 50 años
- e.polish = anódico con disolución, nivelación y abrillantado (ánodo = en funcionamiento)
- distribución de corriente primaria y secundaria -> ley de Wagner
- Uniformidad -> distancia ánodo-cátodo o aditivos
- Densidad de corriente = factor principal -> geometría
D. Landolt, “Aspectos fundamentales del electropulido”, Electrochim. Acta, vol. 32, núm. 1, págs. 1 a 11, 1987.
- Nivelación e iluminación (> 1 um, < 1 um, piense en luz visible)
- Limitación de transporte -> microsuavización
- Dos mecanismos de transporte masivo, disolución limitada y aceptor limitado.
- Densidad de corriente limitante
D. Landolt, PF Chauvy y O. Zinger, “Micromecanizado electroquímico, pulido y estructuración de superficies de metales: aspectos fundamentales y nuevos desarrollos”, Electrochim. Acta, vol. 48, núm. 20–22, págs. 3185–3201, 2003.
- Picaduras versus brillo
- Capa de óxido -> inestable -> pulido (normalmente alto voltaje) (¿contradicción con lo posterior?)
- Carga de fase inicial pequeña frente a carga total -> buen pulido (alto voltaje...)
JB Mathieu, “Electropulido de titanio en solución de ácido perclórico y ácido acético”, J. Electrochem. Soc., vol. 125, núm. 7, pág. 1044, 1978.
- Potencial anódico vs espesor de la capa de óxido
- Desglose -> pulido (¿contradicción con lo posterior?)
R. Vidal y C. West, “Electropulido de cobre en ácido fosfórico concentrado .1. Hallazgos experimentales”, J. Electrochem. Soc., vol. 142, núm. 8, págs. 2682–2689, 1995.
- Buena historia rápida
- Electrodo giratorio -> corriente límite más grande -> teoría (Tribollet & Newman)
R. Vidal y C. West, “Electropulido de cobre en ácido fosfórico concentrado .1. Hallazgos experimentales”, J. Electrochem. Soc., vol. 142, núm. 8, págs. 2682–2689, 1995.
- Región limitante actual
- Aumento potencial después de un tiempo -> malo
- Densidad de corriente demasiado baja -> sin capa límite
- Buen esquema...
D. Landolt, PF Chauvy y O. Zinger, “Micromecanizado electroquímico, pulido y estructuración de superficies de metales: aspectos fundamentales y nuevos desarrollos”, Electrochim. Acta, vol. 48, núm. 20–22, págs. 3185–3201, 2003.
- Montones de cosas (¡y nuevas!)
- Curva CV con grabado, capa de pasivación, pulido, picaduras...
- Electrolitos EP de cobre con rangos de corriente y voltaje
- Dominado por la difusión -> la agitación (rotación) mejora esto -> corriente limitante más alta
- Cuestiones teóricas: resistencia, fenómeno de difusión, teoría del aceptor, pasivación, absorción iónica.
- Aplicaciones