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Synthesis of Carbon Nanotubes/ko

From Appropedia
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FA ์ •๋ณด ์•„์ด์ฝ˜.svg๊ฐ๋„ ์•„๋ž˜ ์•„์ด์ฝ˜.svgํ”„๋กœ์ ํŠธ ๋ฐ์ดํ„ฐ
์ €์ž๋‹ค๋‹ˆ์—˜ ํŒŒ์ฆˆ-์†”๋‹จ
์œ„์น˜ํ‚น์Šคํ„ด , ์บ๋‚˜๋‹ค
OKH ์„ ์–ธ๋ฌธ๋‹ค์šด๋กœ๋“œ

ํƒ„์†Œ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ํšจ์œจ์ ์ธ ๋Œ€๋Ÿ‰ ์ƒ์‚ฐ์„ ์œ„ํ•œ ํ˜„์žฌ ๋ฐ ๋ฏธ๋ž˜ ๋ฐฉ๋ฒ•์— ๋Œ€ํ•œ ๊ฒ€ํ† 

ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ W๊ฐ€ 1991๋…„์— ์ฒ˜์Œ ๋ฐœ๊ฒฌ๋œ ์ด๋ž˜๋กœ , ์ด ๋†€๋ผ์šด ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋Œ€๋Ÿ‰ ์ƒ์‚ฐํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์ˆ˜๋…„๊ฐ„์˜ ์—ฐ๊ตฌ๊ฐ€ ํˆฌ์ž๋˜์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ(CNT)๋Š” ์žฌ๋ฃŒ ๊ณตํ•™์— ํ˜๋ช…์„ ์ผ์œผ์ผœ ์ƒˆ๋กœ์šด ํŠน์„ฑ์„ ๊ฐ€์ง„ ์žฌ๋ฃŒ๋ฅผ ๋งŒ๋“ค ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์ž ์žฌ๋ ฅ์„ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋ฅผ ๋‚˜๋…ธ์Šค์ผ€์ผ ์žฅ์น˜ ๋ฐ ์žฌ๋ฃŒ์— ๊ตฌํ˜„ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์‹คํ˜„ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ์žฌ๋ฃŒ๋กœ ๋งŒ๋“ค๊ธฐ ์œ„ํ•ด์„œ๋Š” ๋Œ€๊ทœ๋ชจ๋กœ CNT ํ•ฉ์„ฑ ๊ณต์ •์„ ์ตœ์ ํ™”ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ํ•„์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

๊ฐœ์š”

CNT๋Š” ๊ณ ์œ ํ•œ ํŠน์„ฑ ๋•Œ๋ฌธ์— ๋งค์šฐ ๋ฐ”๋žŒ์งํ•œ ์žฌ๋ฃŒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. C2 ๋‹ค์ด๋จธ W์™€ C3 ํŠธ๋ฆฌ๋จธ W์˜ ์‚ฌ์Šฌ๊ณผ ๋ฐ˜๊ตฌํ˜• ์บก์œผ๋กœ ํ˜•์„ฑ๋œ ํ’€๋Ÿฌ๋ Œ W์˜ ํŒŒ์ƒ๋ฌผ์ž…๋‹ˆ๋‹ค . [ 1 ] ์‹คํ—˜ ๊ฒฐ๊ณผ , ์ธ์žฅ ๊ฐ•๋„ W ๊ฐ€ ~ 25 GPa์ด๊ณ  ์˜๋ฅ  W๊ฐ€ ์ตœ๋Œ€ 1 TPa์ด๋ฏ€๋กœ ์‚ฌ์šฉ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ์žฌ๋ฃŒ ์ค‘ ๊ฐ€์žฅ ๊ฐ•ํ•˜๊ณ  ๋‹จ๋‹จํ•œ ์žฌ๋ฃŒ ์ค‘ ํ•˜๋‚˜์ž„์ด ๋ฐํ˜€์กŒ์Šต๋‹ˆ๋‹ค . ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋Š” ๋˜ํ•œ ์ „๋„์„ฑ์ด ๋งค์šฐ ๋†’๊ณ  ๊ณ ์œ ํ•œ ๊ด‘ํ•™์  ํŠน์„ฑ์„ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. [2] ๋‚˜๋…ธ์Šค์ผ€์ผ ์ง‘์  ํšŒ๋กœ W ์™€ ์ „๊ณ„ ํšจ๊ณผ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ W , ํƒœ์–‘๊ด‘ ์ „์ง€ W , ๋ณตํ•ฉ ์žฌ๋ฃŒ W ๋“ฑ์—์„œ ์ €์†์‹ค ์ปค๋„ฅํ„ฐ๋กœ์„œ์˜ ์ž ์žฌ๋ ฅ์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค . ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋Š” ๋‹จ์ผ ํƒ„์†Œ ์ธต์œผ๋กœ ๊ตฌ์„ฑ๋œ ๋‹จ์ผ๋ฒฝ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ(SWNT)์™€ ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ฐœ์˜ ์ค‘์ฒฉ๋œ ํŠœ๋ธŒ๋กœ ๊ตฌ์„ฑ๋œ ๋‹ค์ค‘๋ฒฝ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ(MWNT)์˜ ๋‘ ๊ฐ€์ง€ ์ฃผ์š” ๋ฒ”์ฃผ๋กœ ๋‚˜๋‰ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

์ผ๋ฐ˜์ ์ธ ํ•ฉ์„ฑ ๊ธฐ์ˆ 

์•„ํฌ ๋ฐฉ์ „ ๋ฐ ๋ ˆ์ด์ € ์ ˆ์ œ

์†Œ๋Ÿ‰์˜ CNT๋ฅผ ํ•ฉ์„ฑํ•˜๋Š” ๋ฐ ์„ฑ๊ณต์ ์œผ๋กœ ์‚ฌ์šฉ๋œ ์ฒซ ๋ฒˆ์งธ ๋ฐฉ๋ฒ•์€ ์•„ํฌ ๋ฐฉ์ „๋ฒ•์ด์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ฐ๊ฐ 6mm์™€ 9mm ํ‘์—ฐ ๋ง‰๋Œ€๋กœ ๋งŒ๋“  ๋ฐ˜๋Œ€ ์–‘๊ทน ๋ฐ ์Œ๊ทน ๋‹จ์ž๋ฅผ ๋ถˆํ™œ์„ฑ ํ™˜๊ฒฝ(He ๋˜๋Š” Ar, ~500 Torr)์— ๋†“์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ์•ฝ 100A(DC ๋˜๋Š” AC)์˜ ๊ฐ•ํ•œ ์ „๋ฅ˜๋ฅผ ๋‹จ์ž ์‚ฌ์ด๋กœ ํ†ต๊ณผ์‹œ์ผœ ํ‘์—ฐ์˜ ํƒ„์†Œ ์›์ž๋ฅผ ์ฆ๋ฐœ์‹œํ‚ค๋Š” ์•„ํฌ ์œ ๋„ ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ๋ฅผ ์ƒ์„ฑํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋Š” ์ด๋Ÿฌํ•œ ๋‹จ์ž์˜ ํ‘œ๋ฉด์—์„œ ์„ฑ์žฅํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. [3] ์ด‰๋งค๋ฅผ ํ‘์—ฐ ๋‹จ์ž์— ๋„์ž…ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. MWNT๋Š” ์ด‰๋งค ์—†์ด๋„ ํ˜•์„ฑํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์ง€๋งŒ SWNT๋Š” ์ฒ ์ด๋‚˜ ์ฝ”๋ฐœํŠธ์™€ ๊ฐ™์€ ๊ธˆ์† ์ด‰๋งค๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•ด์•ผ๋งŒ ํ˜•์„ฑํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์ด ๋ฐํ˜€์กŒ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. [4] 1995๋…„์— ์ฒ˜์Œ ๊ฐœ๋ฐœ๋œ ๋ ˆ์ด์ € ์–ด๋ธ”๋ ˆ์ด์…˜์ด๋ผ๋Š” ๊ณต์ •์€ ๋น„์Šทํ•œ ์›๋ฆฌ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋ฅผ ์ƒ์‚ฐํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ํƒ„์†Œ๋Š” ๊ฐ•๋ ฅํ•˜๊ณ  ์ง‘์ค‘๋œ ๋ ˆ์ด์ € ๋น”์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ํ‘์—ฐ ํƒ€๊ฒŸ์—์„œ ๊ณ ์˜จ์—์„œ ์ฆ๋ฐœ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๊ฐ€์žฅ ๊ธฐ๋ณธ์ ์ธ ๋ ˆ์ด์ € ์ ˆ์‚ญ ๊ธฐ์ˆ ์—์„œ๋Š” ์ง๊ฒฝ 1.25cm์˜ ํ‘์—ฐ ํƒ€๊ฒŸ์„ ์ง๊ฒฝ 2.5cm, ๊ธธ์ด 50cm์˜ ์„์˜ ํŠœ๋ธŒ์— ๋„ฃ๊ณ  1200oC๋กœ ์ œ์–ด ํ•˜๊ณ  99.99% ์ˆœ์ˆ˜ ์•„๋ฅด๊ณค์œผ๋กœ ์ฑ„์›Œ 500Torr์˜ ์••๋ ฅ์œผ๋กœ ๊ฐ€์—ดํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. 250mJ(10Hz)์˜ ํŽ„์Šค Nd:Yag ๋ ˆ์ด์ € W ๋น”์„ ์›ํ˜• ๋ Œ์ฆˆ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ์ดˆ์ ์„ ๋งž์ถ”๊ณ  ๋น”์„ ํ‘์—ฐ ํƒ€๊ฒŸ ํ‘œ๋ฉด์— ๊ท ์ผํ•˜๊ฒŒ ํœฉ์“ธ์–ด๊ฐ‘๋‹ˆ๋‹ค. ์›์น˜ ์•Š๋Š” ๋น„์ •์งˆ ํƒ„์†Œ์™€ ํ˜ผํ•ฉ๋œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋Š” ์ฑ”๋ฒ„ ๋์˜ ๋ƒ‰๊ฐ๋œ ๊ธฐํŒ์— ์ˆ˜์ง‘๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. [5]

์ด ๋‘ ๊ฐ€์ง€ ๋ฐฉ๋ฒ• ๋ชจ๋‘ ํ™•์žฅ ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์ด ์ œํ•œ์ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๊ณ ์ฒด ํ‘์—ฐ์€ ํ•„์š”ํ•œ ํƒ„์†Œ๋ฅผ ๊ณต๊ธ‰ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด >3000ยฐC์—์„œ ์ฆ๋ฐœ๋˜์–ด์•ผ ํ•˜๋ฉฐ, ์ƒ์„ฑ๋œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋Š” ์–ฝํžŒ ํ˜•ํƒœ์ด๋ฉฐ, ๊ณต์ •์—์„œ ์ž์—ฐ์ ์œผ๋กœ ์ƒ์„ฑ๋˜๋Š” ๋น„์ •์งˆ ํƒ„์†Œ์™€ ํ’€๋Ÿฌ๋ Œ์„ ์ œ๊ฑฐํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๊ด‘๋ฒ”์œ„ํ•œ ์ •์ œ๊ฐ€ ํ•„์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. [6]

ํ™”ํ•™ ๊ธฐ์ƒ ์ฆ์ฐฉ

๊ทธ๋ฆผ 1: ์ผ๋ฐ˜์ ์ธ CVD ๊ณต์ •์˜ ์Šค์ผ€์น˜

ํ™”ํ•™ ๊ธฐ์ƒ ์ฆ์ฐฉ(CVD)์€ ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ๋Œ€๋Ÿ‰ ์ƒ์‚ฐ์— ๊ฐ€์žฅ ํฐ ์ž ์žฌ๋ ฅ์„ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋น„๊ต์  ๋‚ฎ์€ ์˜จ๋„์—์„œ ๊ฒฐํ•จ ์—†๋Š” CNT๋ฅผ ๋Œ€๋Ÿ‰์œผ๋กœ ์ƒ์‚ฐํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๋‹ค์žฌ๋‹ค๋Šฅํ•œ ๋ฐฉ๋ฒ•์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

CVD๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ CNT๋ฅผ ์ƒ์‚ฐํ•˜๋Š” ์ผ๋ฐ˜ํ™”๋œ ๊ณต์ •์ด ์—ฌ๊ธฐ์— ์„ค๋ช…๋˜์–ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ธฐ์งˆ ์žฌ๋ฃŒ(์˜ˆ: ์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋‚˜, ์„์˜)๋Š” ์ด‰๋งค ์ฆ์ฐฉ์„ ์ค€๋น„ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์„ธ์ฒ™๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋‹ค๊ณต์„ฑ ๊ธฐ์งˆ์ด ํ•„์š”ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋ฏ€๋กœ ๋ถˆ์‚ฐ/๋ฉ”ํƒ„์˜ฌ ์šฉ์•ก์œผ๋กœ ์ „๊ธฐํ™”ํ•™์  ์—์นญ์„ ์ˆ˜ํ–‰ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋Š” ๋‹ค๊ณต์„ฑ ๊ธฐ์งˆ์—์„œ ๋” ๋น ๋ฅธ ์†๋„๋กœ ์„ฑ์žฅํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋ฏ€๋กœ ํƒ„์†Œ๊ฐ€ ๋‹ค๊ณต์„ฑ ๊ธฐ์งˆ ์ธต์„ ํ†ตํ•ด ํ™•์‚ฐ๋˜์–ด ์„ฑ์žฅํ•˜๋Š” ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์— ๊ณต๊ธ‰๋  ์ˆ˜ ์žˆ์Œ์„ ์‹œ์‚ฌํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. [7] ์ด‰๋งค(์˜ˆ: ์ฒ , ๋‹ˆ์ผˆ)๋Š” ์—ด ์ฆ๋ฐœ์— ์˜ํ•ด ๊ธฐ์งˆ์— ์ฆ์ฐฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์šฉ๊ด‘๋กœ๋Š” 500-1200ยฐC ์‚ฌ์ด์˜ ์˜จ๋„๋กœ ์˜ฌ๋ผ๊ฐ€๊ณ  ์•„์„ธํ‹ธ๋ Œ, ์—ํ‹ธ๋ Œ ๋˜๋Š” ์ผ์‚ฐํ™”ํƒ„์†Œ์™€ ๊ฐ™์€ ํƒ„ํ™”์ˆ˜์†Œ ๊ฐ€์Šค๊ฐ€ ๋ฐ˜์‘๊ธฐ์— ์ฒœ์ฒœํžˆ ํŽŒํ•‘๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค [8] (๊ทธ๋ฆผ 1). ์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ณ ์˜จ์—์„œ ํƒ„์†Œ๋Š” ๊ณต๊ธ‰ ์›๋ฃŒ ๋ถ„์ž์—์„œ ๋ถ„๋ฆฌ๋˜์–ด ์ด‰๋งค๋กœ ํ™•์‚ฐ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์›์ž๋Š” ๊ธฐํŒ์—์„œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ์‹œํŠธ๋กœ ๋ฐฐ์—ด๋˜์–ด ๋น„์ •์งˆ ํƒ„์†Œ, ํ’€๋Ÿฌ๋ Œ ๋ฐ ์ด‰๋งค ์žฌ๋ฃŒ์™€ ๊ฐ™์€ ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ๊ณผ ๊ฒฐํ•ฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋Œ€๋ถ€๋ถ„์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์ด๋Ÿฌํ•œ ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ์€ ์ •ํ™” ๋‹จ๊ณ„๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ์ œ๊ฑฐํ•ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์‚ฐ ์ฒ˜๋ฆฌ ํ›„ ์ดˆ์ŒํŒŒ ์ฒ˜๋ฆฌ W๊ฐ€ ๋„๋ฆฌ ์‚ฌ์šฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ํ”„๋กœ์„ธ์Šค์˜ ์„ธ๋ถ€ ์‚ฌํ•ญ์€ ์•„๋ž˜์— ์„ค๋ช…๋˜์–ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

์„ฑ์žฅ ๋ฉ”์ปค๋‹ˆ์ฆ˜

๊ทธ๋ฆผ 2: ๋‘ ๊ฐ€์ง€ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ์„ฑ์žฅ ๋ฉ”์ปค๋‹ˆ์ฆ˜์˜ ๊ฐœ๋…์  ๋„๋ฉด [1]

ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ์„ฑ์žฅ ๋ฉ”์ปค๋‹ˆ์ฆ˜์€ ์™„์ „ํžˆ ์ดํ•ด๋˜์ง€ ์•Š์•˜์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ์„ฑ์žฅ์— ๋Œ€ํ•œ ๋‹ค์–‘ํ•œ ๋ชจ๋ธ์ด ์ œ์•ˆ๋˜์—ˆ์œผ๋ฉฐ, ๊ณ ์ฒด์ƒ ์„ฑ์žฅ๊ณผ ์ผ์น˜ํ•˜๋Š” ๊ฐ€์žฅ ์ˆ˜์šฉ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ๋ชจ๋ธ์„ ์—ฌ๊ธฐ์—์„œ ์„ค๋ช…ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ž‘์€ ํƒ„์†Œ ์›์ž๋Š” ๊ตฌํ˜•์ด๋ผ๊ณ  ๊ฐ€์ •๋˜๋Š” ํฐ ๊ธˆ์† ์ด‰๋งค ์›์ž ์ฃผ์œ„๋กœ ํ™•์‚ฐ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ํƒ„์†Œ๋Š” ๊ธˆ์†์˜ ์ธก๋ฉด์—์„œ ํ•ต์ƒ์„ฑ๋˜์–ด ํŠœ๋ธŒ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ˜•์„ฑํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค(๊ทธ๋ฆผ 2). ํ˜•์„ฑ ์ค‘ ์ด‰๋งค ๋ฌผ์งˆ์˜ ์œ„์น˜๋Š” ๊ธˆ์† ์›์ž์™€ ๊ธฐ์งˆ ์‚ฌ์ด์˜ ์›์ž๊ฐ„ ํž˜์˜ ๊ฐ•๋„์— ๋”ฐ๋ผ ๋‹ฌ๋ผ์ง‘๋‹ˆ๋‹ค. ๊ธˆ์†์ด ๊ธฐ์งˆ์— ์•ฝํ•˜๊ฒŒ ๊ฒฐํ•ฉ๋˜์–ด ์žˆ์œผ๋ฉด ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๊ฐ€ ๊ธฐ์งˆ์—์„œ ์ˆ˜์ง์œผ๋กœ ํ˜•์„ฑ๋  ๋•Œ ๊ทธ๋Œ€๋กœ ์œ ์ง€๋  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค(์ด ๋ฉ”์ปค๋‹ˆ์ฆ˜์€ ๊ธฐ์ € ์„ฑ์žฅ ์ด๋ผ๊ณ  ํ•จ ). ๊ทธ๋ ‡์ง€ ์•Š์œผ๋ฉด ํŠœ๋ธŒ๊ฐ€ ์•„๋ž˜๋กœ ์„ฑ์žฅํ•  ๋•Œ ๊ธˆ์†์ด ํŒ์—์„œ ์šด๋ฐ˜๋  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค( ํŒ ์„ฑ์žฅ ์ด๋ผ๊ณ  ํ•จ ). [1]

์ด‰๋งค

์ด‰๋งค๋Š” ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๊ฐ€ ์„ฑ์žฅํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๊ธฐ๋ฐ˜์„ ์ œ๊ณตํ•˜๋ฉฐ CVD ํ•ฉ์„ฑ์„ ์œ„ํ•ด ์„ ํƒ๋œ ์žฌ๋ฃŒ๋Š” ์ƒ์‚ฐ๋œ CNT์˜ ์ˆ˜์œจ๊ณผ ํ’ˆ์งˆ์„ ํฌ๊ฒŒ ๋‹ฌ๋ผ์งˆ ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ „ํ†ต์ ์œผ๋กœ ์ด‰๋งค๋Š” ์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋‚˜ ๋˜๋Š” ์‹ค๋ฆฌ์นด์™€ ๊ฐ™์€ ์ง€์ง€์ฒด ์žฌ๋ฃŒ์— ์ฆ์ฐฉ๋œ ์ „์ด ๊ธˆ์† ๋‚˜๋…ธ์ž…์ž(์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ์ฒ , ๋‹ˆ์ผˆ, ๋ชฐ๋ฆฌ๋ธŒ๋ด)์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ ์ฆ๋ฐœ ์ด‰๋งค๋„ ์‚ฌ์šฉ๋˜์–ด ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๊ฐ€ ๊ธฐ์ฒด ์ƒํƒœ์—์„œ ํ˜•์„ฑ๋˜๊ณ  ์ฐจ๊ฐ€์šด ํ‘œ๋ฉด์— ์‘์ถ•๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. [4] ์ด‰๋งค๋Š” ๋ฐ”๋žŒ์งํ•˜์ง€ ์•Š์€ ๋น„์ •์งˆ ํƒ„์†Œ๋กœ ์ฝ”ํŒ…๋˜๋ฉด ๋น„ํ™œ์„ฑํ™”๋˜์–ด CNT ์„ฑ์žฅ ํ”„๋กœ์„ธ์Šค๊ฐ€ ์ค‘๋‹จ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด์ƒ์ ์ธ ์ด‰๋งค ์žฌ๋ฃŒ๋Š” ํ‘œ๋ฉด์ ๊ณผ ๊ธฐ๊ณต ๋ถ€ํ”ผ(๊ณ ์˜จ์—์„œ ์†Œ๊ฒฐ๋˜์–ด์„œ๋Š” ์•ˆ ๋˜๋Š” ํŠน์„ฑ)๊ฐ€ ํฌ๊ณ  ๊ธˆ์†-์ง€์ง€์ฒด ์ƒํ˜ธ ์ž‘์šฉ์ด ๊ฐ•ํ•ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. [6]

CVD๋กœ ์ƒ์‚ฐ๋œ ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ํ‰๊ท  ์ง๊ฒฝ์€ ์ด‰๋งค ์ž…์ž์˜ ํฌ๊ธฐ์™€ ์ง์ ‘์ ์œผ๋กœ ๊ด€๋ จ์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๊ด€๊ณ„๋Š” ๊ทธ๋ฆผ 2์— ๋‚˜ํƒ€๋‚œ ์„ฑ์žฅ ๋ฉ”์ปค๋‹ˆ์ฆ˜์œผ๋กœ ์„ค๋ช…ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋Š” ์ด‰๋งค ํ‘œ๋ฉด์— ์ˆ˜์ง์œผ๋กœ ์„ฑ์žฅํ•˜๋Š” ๊ฒฝํ–ฅ์ด ์žˆ์œผ๋ฏ€๋กœ ์ž…์ž์˜ ์ง๊ฒฝ์€ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ์ง๊ฒฝ์„ ๊ฒฐ์ •ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. [8] ๋”ฐ๋ผ์„œ CVD๋Š” ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ์ง์ ‘ ์ œ์–ดํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋ฏ€๋กœ ์žฌ๋ฃŒ ์ฒ˜๋ฆฌ์— ์ ํ•ฉํ•œ ์˜ต์…˜์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

ํƒ„์†Œ ์›๋ฃŒ

CVD์—์„œ ํƒ„์†Œ๋Š” ํƒ„ํ™”์ˆ˜์†Œ ๊ฐ€์Šค์— ์˜ํ•ด ๊ณต๊ธ‰๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋ถ„์ž์˜ ๋ฐ˜์‘์„ฑ์€ ์‚ฌ์šฉํ•  ํƒ„ํ™”์ˆ˜์†Œ๋ฅผ ๊ฒฐ์ •ํ•˜๋Š” ์ค‘์š”ํ•œ ์š”์†Œ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๋ฐ˜์‘์„ฑ์€ ํƒ„์†Œ์™€ ์ˆ˜์†Œ ์›์ž ์‚ฌ์ด์˜ ๊ณต์œ  ๊ฒฐํ•ฉ์˜ ๊ฐ•๋„์— ์˜ํ•ด ๊ฒฐ์ •๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ฆ‰, ๋ฐ˜์‘์„ฑ์ด ๋” ๋†’์€ ๋ถ„์ž๋Š” ๊ตฌ์„ฑ ์š”์†Œ๋กœ ๋ถ„ํ•ด๋˜๋Š” ๋ฐ ๋” ์ ์€ ์—๋„ˆ์ง€๊ฐ€ ํ•„์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๋ถ„ํ•ด๋Š” ์˜จ๋„๋ฅผ ๋†’์—ฌ ๋ถ„์ž์— ๊ฒฐํ•ฉ์„ ๋Š๋Š” ๋ฐ ๋„์›€์ด ๋˜๋Š” ์šด๋™ ์—๋„ˆ์ง€๋ฅผ ์ œ๊ณตํ•˜์—ฌ ๋‹ฌ์„ฑ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋”ฐ๋ผ์„œ ์—ํ‹ธ๋ Œ(C 2 H 4 )๊ณผ ์•„์„ธํ‹ธ๋ Œ(C 2 H 2 )์€ ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ๋ฉ”ํƒ„๊ณผ ์ผ์‚ฐํ™”ํƒ„์†Œ๋ณด๋‹ค ๋ฐ˜์‘์„ฑ์ด ๋” ๋†’๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ํƒ„์†Œ ์›๋ฃŒ๋กœ ์„ ํƒ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋ฒค์  , ๋ฉ”ํƒ„์˜ฌ ๋ฐ ์—ํƒ„์˜ฌ๋„ ๋‹ค์–‘ํ•œ ์‹คํ—˜์— ์„ฑ๊ณต์ ์œผ๋กœ ์‚ฌ์šฉ๋˜์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. [4]

์ •ํ™”

ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋Š” ๋‹ค์–‘ํ•œ ๊ธฐ์ˆ ์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ๊ณผ ์ด‰๋งค ์ž…์ž์—์„œ ๋ถ„๋ฆฌํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ฐ€์žฅ ์ผ๋ฐ˜์ ์ธ ์ƒ์‚ฐ ํ›„ ๋‹จ๊ณ„๋Š” (1) ๋ถ„์‚ฐ, ๊ทธ ๋‹ค์Œ (2) ์‚ฐ ํ™˜๋ฅ˜, ๋งˆ์ง€๋ง‰์œผ๋กœ (3) ๋ฏธ์„ธ ์—ฌ๊ณผ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๋ถ„์‚ฐ์€ Triton X100(์„ธ์ œ์˜ ์ผ์ข…)๊ณผ ๊ฐ™์€ ๊ณ„๋ฉดํ™œ์„ฑ์ œ๋กœ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋ฅผ ์ดˆ์ŒํŒŒ ์ฒ˜๋ฆฌํ•˜์—ฌ ์ˆ˜ํ–‰ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ํƒ„์†Œ 1g๋‹น 0.01ml์˜ Triton X100๊ณผ 0.08L์˜ ๋ฌผ ์šฉ์•ก์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋ฅผ ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ์—์„œ ๋ถ„๋ฆฌํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์‚ฐ ํ™˜๋ฅ˜ ์ฒ˜๋ฆฌ์—๋Š” ์ข…์ข… 10์‹œ๊ฐ„ ๋™์•ˆ ๋ถ„์‚ฐ ์ œํ’ˆ 1g๋‹น 0.4L์˜ ์งˆ์‚ฐ์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ์ˆ˜ํ–‰ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๋‹จ๊ณ„๋Š” ๋А๋ฆฌ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์ƒ์‚ฐ์„ฑ์„ ์œ ์ง€ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์—ฌ๋Ÿฌ ์ฒ˜๋ฆฌ ๋ผ์ธ์ด ํ•„์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์—ฌ๊ณผ๋Š” ์•ฝ 20๋ถ„ ๋™์•ˆ ํด๋ฆฌํ…ŒํŠธ๋ผํ”Œ๋ฃจ์˜ค๋กœ์—ํ‹ธ๋ Œ(PTFE) ๋ฉค๋ธŒ๋ ˆ์ธ์„ ํ†ตํ•ด ์ˆ˜ํ–‰๋˜์ง€๋งŒ ์›ํ•˜๋Š” ์ˆœ๋„๋ฅผ ์–ป์œผ๋ ค๋ฉด ์—ฌ๋Ÿฌ ๋ฒˆ ์‹คํ–‰ํ•ด์•ผ ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ํ‰๊ท ์ ์œผ๋กœ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ์ˆ˜์œจ์˜ ์•ฝ 90%๋Š” ์ •์ œ ๊ณผ์ • ํ›„์— ํšŒ์ˆ˜ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. [9]

CVD์— ์˜ํ•œ ์ •๋ ฌ๋œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ

๊ทธ๋ฆผ 3: ๊ธฐ๋‘ฅ ์‚ฌ์ด์— SWNT๊ฐ€ ํ˜„์ˆ˜๋œ CNT ์–ด๋ ˆ์ด [6]

์ตœ๊ทผ์˜ ๋ฐœ์ „์œผ๋กœ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋ฅผ ์งˆ์„œ ์žˆ๊ฒŒ ํ•ฉ์„ฑํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Œ์ด ๋ฐํ˜€์กŒ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด‰๋งค๋Š” ์„€๋„ ๋งˆ์Šคํฌ W๋ฅผ ํ†ตํ•ด ํŒจํ„ด์œผ๋กœ ๋‹ค๊ณต์„ฑ ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ๊ธฐํŒ์— ์ฆ์ฐฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋ฏ€๋กœ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋Š” ํŠน์ • ๋ถ€์œ„์—์„œ๋งŒ ํ•ต์„ ํ˜•์„ฑํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๊ฐ€ ์ด‰๋งค ๋ถ€์œ„์—์„œ ์ˆ˜์ง์œผ๋กœ ์ž๋ผ๋ฉฐ ๊ฐ ํŠœ๋ธŒ๊ฐ€ ์ฃผ๋ณ€ ํŠœ๋ธŒ์˜ ๋ฐ˜๋ฐ๋ฅด๋ฐœ์Šค ํž˜ W ์— ์˜ํ•ด ์ง€ํƒฑ๋˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” '๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ์ˆฒ'์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. SWNT์˜ ์ง€์‹œ์  ์„ฑ์žฅ๋„ ์ž…์ฆ๋˜์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด‰๋งค ๋ฌผ์งˆ์€ ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ๊ธฐ๋‘ฅ์˜ ๊ผญ๋Œ€๊ธฐ์— ์„ ํƒ์ ์œผ๋กœ ์ธ์‡„๋˜์—ˆ๊ณ , CVD ํ›„ SWNT๋Š” ๊ทธ๋ฆผ 3๊ณผ ๊ฐ™์ด ๊ธฐ๋‘ฅ์—์„œ ๊ธฐ๋‘ฅ์œผ๋กœ ๋งค๋‹ฌ๋ ค ์„ฑ์žฅํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚ฌ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. [6] ์ œ์–ด๋œ ๋ฐฉ์‹์œผ๋กœ ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋ฅผ ์„ฑ์žฅ์‹œํ‚ค๋Š” ๊ฒƒ์€ CNT ๊ธฐ๋ฐ˜ ๋‚˜๋…ธ๊ธฐ์ˆ ์„ ํšจ๊ณผ์ ์œผ๋กœ ์ƒ์‚ฐํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์Šต๋“ํ•ด์•ผ ํ•  ํ•„์ˆ˜์ ์ธ ๊ธฐ์ˆ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

CVD ํ•ฉ์„ฑ์˜ ์ตœ์ ํ™”

CVD๊ฐ€ ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ๋Œ€๋Ÿ‰ ์ƒ์‚ฐ์— ๊ฐ€์žฅ ์œ ๋งํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ํ•ฉ์„ฑ ๊ณต์ •์˜ ์ˆ˜์œจ๊ณผ ์—๋„ˆ์ง€ ํšจ์œจ์„ฑ์„ ๊ฐœ์„ ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ ๊ด‘๋ฒ”์œ„ํ•œ ์—ฐ๊ตฌ๊ฐ€ ์ˆ˜ํ–‰๋˜์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ œ์กฐ ํšจ์œจ์„ฑ์€ ๋งค์šฐ ๊ฐ„๋‹จํ•œ ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ ์ •๋Ÿ‰ํ™”ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

ํšจ์œจ์„ฑ(์ œ์กฐ) = ๋ถ€๊ฐ€๊ฐ€์น˜ ์‹œ๊ฐ„ / ์ด ์‹œ๊ฐ„ [10]


๋ถ€๊ฐ€๊ฐ€์น˜ ์‹œ๊ฐ„์€ ์‹œ์žฅ์„ฑ ์žˆ๋Š” ์ œํ’ˆ์„ ๋งŒ๋“œ๋Š” ๋ฐ ํˆฌ์ž…๋œ ๋ชจ๋“  ์‹œ๊ฐ„์„ ํฌํ•จํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ํšจ์œจ์„ฑ์„ ๋†’์ด๋ ค๋ฉด ์‹œ๊ฐ„์„ ๋ณด๋‹ค ์ƒ์‚ฐ์ ์œผ๋กœ ์‚ฌ์šฉํ•˜๊ฑฐ๋‚˜ ์ „์ฒด์ ์œผ๋กœ ๋” ์งง์€ ์‹œ๊ฐ„ ๋‚ด์— ํ”„๋กœ์„ธ์Šค๋ฅผ ์™„๋ฃŒํ•ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋˜ํ•œ ์œ ์šฉํ•œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ์ˆ˜์œจ์„ ๋†’์ด๋ฉด ๋™์ผํ•œ ์‹œ๊ฐ„ ๋™์•ˆ ์ œ์กฐ ํ”„๋กœ์„ธ์Šค์— ๋” ๋งŽ์€ ๊ฐ€์น˜๋ฅผ ๋”ํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ํšจ์œจ์„ฑ์ด ๋†’์•„์ง‘๋‹ˆ๋‹ค. ๋” ํšจ์œจ์ ์ธ ํ”„๋กœ์„ธ์Šค๋Š” ํ๊ธฐ๋ฌผ์„ ๋œ ๋ฐœ์ƒ์‹œํ‚ค๋Š”๋ฐ, ์ด๋Š” ์ƒ์‚ฐ ํ›„ ํ๊ธฐ๋ฌผ์„ ํ†ตํ•ฉํ•˜๋Š” ๋ฐ ์‹œ๊ฐ„์„ ํˆฌ์žํ•ด์•ผ ํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

ํ™•์žฅํ•˜์—ฌ ํ•ฉ์„ฑ ํ”„๋กœ์„ธ์Šค์˜ ์ „์ฒด ๋น„์šฉ์€ ํšจ์œจ์„ฑ์ด ์ฆ๊ฐ€ํ•จ์— ๋”ฐ๋ผ ๊ฐ์†Œํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๊ถ๊ทน์ ์ธ ๋ชฉํ‘œ๋Š” ๋น„์šฉ์„ ์ตœ์†Œํ™”ํ•˜์—ฌ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋ฅผ ๋‹ค์–‘ํ•œ ์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ์—์„œ ์‚ฌ์šฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋„๋ก ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๋ชฉํ‘œ๋ฅผ ๋‹ฌ์„ฑํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๊ฐœ๋ฐœ๋œ ๊ฐ€์žฅ ์œ ๋งํ•œ ๋ฐฉ๋ฒ• ์ค‘ ๋ช‡ ๊ฐ€์ง€๋ฅผ ์•„๋ž˜์— ๊ฐ•์กฐ ํ‘œ์‹œํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

๋ฌผ ์ง€์› CVD("์ดˆ์„ฑ์žฅ")

์ด‰๋งค๋Š” CNT๋ฅผ ํ•ตํ™”ํ•˜๋Š” ๋Šฅ๋ ฅ์— ํ•œ๊ณ„๊ฐ€ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด‰๋งค๊ฐ€ ๋น„ํ™œ์„ฑํ™”๋˜๋Š” ์ด์œ ๋Š” ์‹œ๊ฐ„์ด ์ง€๋‚จ์— ๋”ฐ๋ผ ๋น„์ •์งˆ ํƒ„์†Œ๊ฐ€ ์ด‰๋งค ์ฃผ์œ„์— ์ž์—ฐ์Šค๋Ÿฝ๊ฒŒ ํ˜•์„ฑ๋˜์–ด ์‚ฌ์šฉ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ํ•ตํ™” ์‚ฌ์ดํŠธ๋ฅผ ๋ฎ์–ด๋ฒ„๋ฆฌ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด‰๋งค ๋ถ•๊ดด ๋ชจ๋ธ์€ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ฑ ๋ถ•๊ดด W ๋ชจ๋ธ๊ณผ ๊ฐ•๋ ฅํ•œ ์ƒ๊ด€ ๊ด€๊ณ„๋ฅผ ๋ณด์˜€์Šต๋‹ˆ๋‹ค . ๋”ฐ๋ผ์„œ ์„ค์ •๋œ ์„ฑ์žฅ ์กฐ๊ฑด์—์„œ ์ˆฒ์˜ ๋†’์ด H(t)๋Š” ์ง€์ˆ˜์  ๋ถ•๊ดด๋กœ ์„ค๋ช…ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.


์‹œ๊ฐ„(ํ‹ฐ)=ฮฒฯ„(1โˆ’์ด์žํ˜•์—‘์Šคํ”ผ(โˆ’ํ‹ฐ/ฯ„)){\displaystyle H(t)=\beta \tau (1-exp(-t/\tau ))}{\displaystyle H(t)=\beta \tau (1-exp(-t/\tau ))}


์—ฌ๊ธฐ์„œ ฮฒ๋Š” ์ดˆ๊ธฐ ์„ฑ์žฅ ์†๋„์ด๊ณ , ฯ„๋Š” ์ด‰๋งค ์ˆ˜๋ช…์ด๋ฉฐ, ฮฒฯ„๋Š” ์ง๊ด€์ ์œผ๋กœ ์ˆฒ์˜ ์ตœ๋Œ€ ๋†’์ด๋ฅผ ์ œ๊ณตํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ฃผ๋ณ€ ๋Œ€๊ธฐ์— ์†Œ๋Ÿ‰์˜ ์ˆ˜์ฆ๊ธฐ(ppm ๋ฒ”์œ„)๋ฅผ ์ถ”๊ฐ€ํ•˜๋ฉด ์ด‰๋งค ๋ฌผ์งˆ์˜ ์ˆ˜๋ช…์„ ๋Š˜๋ฆด ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋†€๋ž๊ฒŒ๋„ ์ด ์ง€์ˆ˜์  ๊ฐ์†Œ ๋ชจ๋ธ์€ ์ด‰๋งค ๊ฑฐ๋™์„ ๋งค์šฐ ์ •ํ™•ํ•˜๊ฒŒ ์˜ˆ์ธกํ–ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด‰๋งค ์ˆ˜๋ช…๊ณผ ์ˆฒ์˜ ๋†’์ด๋Š” ํŠน์ • ๋ฌผ-์—ํ‹ธ๋ Œ ๋น„์œจ์—์„œ ์ตœ๋Œ€ํ™”๋  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ตœ๊ทผ ์‹คํ—˜์—์„œ๋Š” ์ด ์ตœ์  ๋น„์œจ์ด ์„ฑ์žฅ ์‹œ๊ฐ„๊ณผ ์˜จ๋„์™€ ๋ฌด๊ด€ํ•˜๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์„ ๋ณด์—ฌ์ฃผ๋Š”๋ฐ, ์ด๋Š” ๋ฌผ์ด ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ์„ฑ์žฅ ๊ณผ์ •์˜ ๊ทผ๋ณธ์ ์ธ ์ธก๋ฉด์„ ๋ณ€ํ™”์‹œํ‚ค๊ณ  ์žˆ๋‹ค๋Š” ์‚ฌ์‹ค์„ ์ง€์ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. [7]

๊ทธ๋ฆผ 4: ๋ฌผ ์ง€์› CVD๋ฅผ ํ†ตํ•ด ์ƒ์‚ฐ๋œ CNT ์ˆฒ [7]


๋ฌผ์˜ ํšจ๊ณผ๋Š” ์ž˜ ์ดํ•ด๋˜์ง€ ์•Š์ง€๋งŒ, ๋ฌผ์ด ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋ฅผ ์—์นญํ•˜์ง€ ์•Š๊ณ  ๋น„์ •์งˆ ํƒ„์†Œ๋ฅผ ์—์นญํ•œ๋‹ค๋Š” ๊ฐ€์„ค์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ทธ ํšจ๊ณผ๋Š” ํ•ตํ˜•์„ฑ ๋ถ€์œ„๊ฐ€ ๋น„์ •์งˆ ํƒ„์†Œ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ์ž์œ ๋กœ์›Œ ์ด‰๋งค๊ฐ€ ๋ถˆํ™œ์„ฑํ™”๋˜์ง€ ์•Š๊ณ  ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋Š” ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฐ›์ง€ ์•Š์•„ ์„ฑ์žฅ์ด ์ฆ๊ฐ€ํ•œ๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค(๊ทธ๋ฆผ 4). ์ดˆ์„ฑ์žฅ์€ ๋ฐ€๋ฆฌ๋ฏธํ„ฐ ๋ฒ”์œ„์—์„œ ์ดˆ์ˆœ๋„(์ˆœ๋„ 99.98%) ์ˆ˜์ง ์ •๋ ฌ SWNT ์ˆฒ์„ ์ƒ์„ฑํ–ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Š” ์ •๋ ฌ๋œ CNT ํ•ฉ์„ฑ์—์„œ ์ „๋ก€ ์—†๋Š” ์„ฑ๊ณผ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. [11]

์ด‰๋งค๊ฐ€ ์—†๋Š” CVD

์ด‰๋งค ๋ฌผ์งˆ์€ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ์„ฑ์žฅ์„ ์ด‰์ง„ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์ง€๋งŒ, ํ•ฉ์„ฑ ๊ณต์ •์˜ ๋งˆ์ง€๋ง‰์— ์ •์ œํ•ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋†€๋ž๊ฒŒ๋„ ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋ฅผ ์ƒ์‚ฐํ•˜๋Š” ๋ฐ ์™ธ๋ถ€ ์ด‰๋งค๊ฐ€ ๋ฐ˜๋“œ์‹œ ํ•„์š”ํ•˜์ง€ ์•Š๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์ด ๋ฐํ˜€์กŒ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Š” ์ •์ œ์˜ ํ•„์š”์„ฑ์„ ์—†์• ๊ณ  ๊ณต์ •์˜ ํšจ์œจ์„ฑ์„ ๋†’์ž…๋‹ˆ๋‹ค. Fadour ๋“ฑ์€ ์—์นญ๋œ ์Šคํ…Œ์ธ๋ฆฌ์Šค ์Šคํ‹ธ์—์„œ CNT๋ฅผ ์„ฑ์žฅ์‹œํ‚ค๋Š” ๊ฐ„๋‹จํ•œ ๋ฐฉ๋ฒ•์„ ๊ฐœ๋ฐœํ–ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์•ฝ 700-850 o C์˜ ์ž‘๋™ ์˜จ๋„์—์„œ ์ด ๋ฐฉ๋ฒ•์€ ์ „์ฒ˜๋ฆฌ๋œ ์ด‰๋งค์˜ ํ•„์š”์„ฑ์„ ์—†์• ๊ณ  ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋ฅผ ์Šคํ‹ธ ๊ธฐํŒ์— ์ง์ ‘ ์ฆ์ฐฉํ•˜์—ฌ ํ•ฉ์„ฑ ํšจ์œจ์„ฑ์„ ๋†’์ด๋Š” ๋ฐ ์œ ๋งํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚ฌ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ณต์ •์€ ๋‹ค์Œ๊ณผ ๊ฐ™์ด ์ˆ˜ํ–‰๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ดˆ์ŒํŒŒ ์š•์กฐ์—์„œ ์•„์„ธํ†ค์œผ๋กœ 30๋ถ„๊ฐ„ ๊ธฐํŒ ์„ธ์ฒ™, 35-38% ์—ผ์‚ฐ์—์„œ ๊ธฐํŒ ์—์นญ, 850 o C์—์„œ ๊ธฐํŒ ์—ด์ฒ˜๋ฆฌ, 700 o C์—์„œ ์•„์„ธํ‹ธ๋ Œ ์ฃผ์ž… ๋ฐ ์งˆ์†Œ ๊ฐ€์Šค์— ๋ณด๊ด€ํ•œ ๋‹ค์Œ ๋ƒ‰๊ฐํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. [12]

ํ•ซ ํ•„๋ผ๋ฉ˜ํŠธ CVD

๋ชจ๋“  ์ฒ˜๋ฆฌ ์‹œ์Šคํ…œ์—์„œ ๋น„ํšจ์œจ์„ฑ์˜ ์ฃผ์š” ์›์ธ ์ค‘ ํ•˜๋‚˜๋Š” ํ•ฉ์„ฑ์„ ์œ„ํ•ด ๋†’์€ ์˜จ๋„๋ฅผ ์œ ์ง€ํ•ด์•ผ ํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— CVD ๊ณต์ •์˜ ์ž‘๋™ ์˜จ๋„๋ฅผ ๋‚ฎ์ถ”๋ฉด ์—๋„ˆ์ง€ ํšจ์œจ์„ฑ์ด ํฌ๊ฒŒ ํ–ฅ์ƒ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ํ™”ํ•™ ๊ธฐ์ƒ ์ฆ์ฐฉ์€ ๊ฐ€์—ด๋œ ํ•„๋ผ๋ฉ˜ํŠธ(HF-CVD๋ผ๋Š” ๊ณต์ •)์˜ ๋„์›€์œผ๋กœ ๋‚ฎ์€ ์˜จ๋„(~550 o C)์—์„œ ์‹œ์—ฐ๋˜์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ํ•„๋ผ๋ฉ˜ํŠธ๋Š” ์ง„๊ณต์— ๊ฐ€๊นŒ์šด ๋ถ„์œ„๊ธฐ์—์„œ ์•ฝ 2000 o C ๋กœ ์˜ˆ์—ด๋˜๊ณ  CVD ์ฑ”๋ฒ„์—์„œ ์œ ์ž…๋˜๋Š” ๊ฐ€์Šค๋ฅผ ๊ฐ€์—ดํ•˜๋Š” ๋ฐ ์‚ฌ์šฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ํ•„๋ผ๋ฉ˜ํŠธ๋ฅผ ์ถ”๊ฐ€ํ•˜๋ฉด ๊ณ ์ˆœ๋„ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋ฅผ ํ•ฉ์„ฑํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์ง€๋งŒ ์˜จ๋„๋ฅผ 750 o C ์ด์ƒ์œผ๋กœ ๋†’์ด๋ฉด ์›์น˜ ์•Š๋Š” ๋น„์ •์งˆ ํƒ„์†Œ๊ฐ€ ์ฆ์ฐฉ๋˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚ฌ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ธฐ์กด CVD ๊ณต์ •์— ๋Œ€ํ•œ ์ด๋Ÿฌํ•œ ๋ณ€๊ฒฝ์€ ํ•ฉ์„ฑ ํšจ์œจ์„ฑ์„ ํฌ๊ฒŒ ํ–ฅ์ƒ์‹œํ‚ฌ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์ž ์žฌ๋ ฅ์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. [13]

ํ”Œ๋ผ์Šค๋งˆ ๊ฐ•ํ™” CVD

ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ํ•ต ์ƒ์„ฑ ์†๋„๋Š” ์œ ์ž… ๊ฐ€์Šค๋ฅผ ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ W ์ƒ์œผ๋กœ ์ด์˜จํ™”ํ•จ์œผ๋กœ์จ ๊ทน์ ์œผ๋กœ ์ฆ๊ฐ€์‹œํ‚ฌ ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ ๊ฐ•ํ™” ํ™”ํ•™ ๊ธฐ์ƒ ์ฆ์ฐฉ(PECVD)์€ ํƒ„์†Œ๊ฐ€ ๋” ์‰ฝ๊ฒŒ ํ™•์‚ฐ๋˜๋„๋ก ํ•˜๊ณ  ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ์ˆ˜์œจ์„ ์ฆ๊ฐ€์‹œํ‚ต๋‹ˆ๋‹ค. ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ๋Š” ๋‘ ๋‹จ์ž์— ์ง๋ฅ˜๋ฅผ ํ˜๋ ค ์ƒ์„ฑํ•˜๊ฑฐ๋‚˜, ๋ณด๋‹ค ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ๊ณ ์ฃผํŒŒ ์ „๋ฅ˜(13.56MHz๊ฐ€ ์‚ฐ์—… ํ‘œ์ค€)๋กœ ์™€์ด์–ด ์ฝ”์ผ์„ ํ†ตํ•ด ๊ฐ€์Šค๋ฅผ ์—ฌ๊ธฐ์‹œ์ผœ ์ƒ์„ฑํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ๋ฅผ ์ƒ์„ฑํ•˜๋ ค๋ฉด ๊ฐ•ํ•œ ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ํ•„์š”ํ•˜์ง€๋งŒ, ์šฉ๊ด‘๋กœ์˜ ์ž‘๋™ ์˜จ๋„๋ฅผ ์ ˆ๋ฐ˜ ์ด์ƒ ๋‚ฎ์ถœ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚ฌ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋™์ผํ•œ ์‹คํ—˜์—์„œ ์ „๊ธฐ์žฅ์„ ์ธ๊ฐ€ํ•˜๋ฉด ์„ฑ์žฅํ•˜๋Š” ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ์‚ฌ์ด์— ์ •๋ ฌ์ด ๋ฐœ์ƒํ•˜๊ณ  ์ „๊ธฐ์žฅ์˜ ๊ฐ•๋„๋Š” ์ •๋ ฌ ์ •๋„์— ๋น„๋ก€ํ•œ๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์ด ๋ฐํ˜€์กŒ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋˜ํ•œ NH3๊ฐ€ ํƒ„ํ™”์ˆ˜์†Œ ๊ฐ€์Šค์™€ ํ•จ๊ป˜ ํŽŒํ•‘๋˜๋ฉด ๋‚˜๋…ธ ํŠœ๋ธŒ ํ•ต ์ƒ์„ฑ ์†๋„๊ฐ€ ์ฆ๊ฐ€ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Š” NH3 ๊ฐ€ -300V ์ด์ƒ์˜ ๋ฐ”์ด์–ด์Šค ์ „์••์—์„œ ๋น„์ •์งˆ ํƒ„์†Œ๋ฅผ ๊ฐ€์žฅ ๊ฐ•ํ•˜๊ฒŒ ์—์นญํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ž…๋‹ˆ๋‹ค . ์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ๋น„๊ต์  ๋‚ฎ์€ ์˜จ๋„์—์„œ ์ •๋ ฌ๋œ CNT์˜ ์ˆ˜์œจ์„ ๋†’์—ฌ ํ•ฉ์„ฑ ํšจ์œจ์„ฑ์„ ๋†’์ด๋Š” ์ž˜ ํ™•๋ฆฝ๋œ ๋ฐฉ๋ฒ•์„ ์ œ๊ณตํ•˜๋ฏ€๋กœ ์œ ๋งํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. [14]

์‘์šฉ ํ”„๋กœ๊ทธ๋žจ

ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๊ฐ€ ๊ด‘๋ฒ”์œ„ํ•œ ๊ฑฐ์‹œ์  ๋ฐ ๋ฏธ์‹œ์  ์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ๋ฅผ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์žˆ๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์€ ์˜์‹ฌ์˜ ์—ฌ์ง€๊ฐ€ ์—†์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ํ•ฉ์„ฑ ๋ฐฉ๋ฒ•์ด ๊ฐœ์„ ๋จ์— ๋”ฐ๋ผ ์–ธ์  ๊ฐ€ CNT ๊ธฐ์ˆ ์„ ๊ตฌํ˜„ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ ๊ด‘๋ฒ”์œ„ํ•œ ์—ฐ๊ตฌ๊ฐ€ ์ง„ํ–‰๋˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์—ฌ๊ธฐ์„œ๋Š” ๋ช‡ ๊ฐ€์ง€ ํฅ๋ฏธ๋กœ์šด ์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ์— ๋Œ€ํ•ด ๋…ผ์˜ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

SWNT-ํด๋ฆฌ๋จธ ํƒœ์–‘์ „์ง€

๋‹จ์ผ๋ฒฝ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋Š” ํƒœ์–‘๊ด‘ ์‚ฐ์—…์—์„œ ์œ ๋งํ•œ ๋ฏธ๋ž˜๋ฅผ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ์ง€์† ๊ฐ€๋Šฅํ•˜๊ณ  ํšจ์œจ์ ์ธ ํƒœ์–‘ ์—๋„ˆ์ง€ ์‹œ์Šคํ…œ์— ๋” ๊ฐ€๊นŒ์ด ๋‹ค๊ฐ€๊ฐ€๊ฒŒ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. P3OT ํด๋ฆฌ๋จธ์™€ SWNT์˜ ๋ณตํ•ฉ์žฌ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋ฉด 3์„ธ๋Œ€ ๋ฐ•๋ง‰ ํƒœ์–‘ ์ „์ง€์˜ ํšจ์œจ์„ ๊ฐœ์„ ํ•˜๋Š” ๋ฐ ๋„์›€์ด ๋  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์ด ์ž…์ฆ๋˜์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ๋งค๋ ฅ์€ ๊ธธ์ด-์ง๊ฒฝ ๋น„์œจ์ด ๋†’๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์ „๋„์„ฑ ํด๋ฆฌ๋จธ์—์„œ ์—‘์‹œํ†ค์˜ ํ™•์‚ฐ์„ ์œ„ํ•œ ์šฐ์ˆ˜ํ•œ ๊ฒฝ๋กœ๋ฅผ ์ œ๊ณตํ•œ๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Š” ํด๋ฆฌ๋จธ์— ์†Œ๋Ÿ‰์˜ SWNT๋ฅผ ๋„ํ•‘ํ•˜๋ฉด ์…€์—์„œ ์ „ํ•˜ ์ด๋™๊ณผ ์บ๋ฆฌ์–ด ์ด๋™์„ฑ์„ ๊ฐœ์„ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋˜ํ•œ CNT์— ๊ณ ์œ ํ•œ ๊ตฌ์กฐ์  ๋ฐ ์—ด์  ํŠน์„ฑ์„ ํ™œ์šฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ-ํด๋ฆฌ๋จธ ๋ณตํ•ฉ์žฌ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋ฉด ํƒœ์–‘ ์ „์ง€์˜ ์ธ์žฅ ๊ฐ•๋„์™€ ์˜๋ฅ ์„ ํฌ๊ฒŒ ๋†’์ผ ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ๋†’์€ ์—ด ์ „๋„๋„๋„ ๋งค๋ ฅ์ ์ธ ํŠน์„ฑ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ํŠน์„ฑ์€ ๋Œ€๊ทœ๋ชจ ํƒœ์–‘๊ด‘ ๋†์žฅ์„ ๊ฑด์„คํ•  ๋•Œ ๊ณ ๋ คํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ๋งค์šฐ ์ค‘์š”ํ•˜๋ฏ€๋กœ ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋Š” ์ฐจ์„ธ๋Œ€ ํƒœ์–‘ ์ „์ง€์˜ ํ•„์ˆ˜์ ์ธ ๋ถ€๋ถ„์ด ๋  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค [15]

๋‚˜๋…ธ์ „์ž๊ณตํ•™์˜ CNT

์ „์ž ๊ตฌ์กฐ๊ฐ€ ๋” ์ž‘์•„์ง์— ๋”ฐ๋ผ ํ˜„์žฌ ์žฌ๋ฃŒ๋Š” ๋‚˜๋…ธ ์Šค์ผ€์ผ ํšŒ๋กœ์—์„œ ์‚ฌ์šฉํ•˜๊ธฐ์— ๋„ˆ๋ฌด ๋น„ํšจ์œจ์ ์ผ ๊ฒƒ์ด๋ผ๋Š” ๊ฒƒ์ด ๋ถ„๋ช…ํ•ด์กŒ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด, ๊ตฌ๋ฆฌ๋Š” ํ˜„์žฌ ์ง‘์  ํšŒ๋กœ์˜ ์ƒํ˜ธ ์—ฐ๊ฒฐ์— ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ์žฌ๋ฃŒ์ด์ง€๋งŒ, ์ž‘์€ ์Šค์ผ€์ผ์—์„œ๋Š” ์ €ํ•ญ๋ฅ ์ด ๋†’๊ณ  ์ „๋ฅ˜ ๋ฐ€๋„๊ฐ€ ๋‚ฎ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋Š” ๋†’์€ ์ „๋ฅ˜ ์ „๋‹ฌ ์šฉ๋Ÿ‰๊ณผ ์•ˆ์ •์ ์ธ ๊ตฌ์กฐ์  ๋ฐ ์—ด์  ํŠน์„ฑ์œผ๋กœ ์ธํ•ด ์ง‘์  ํšŒ๋กœ์˜ ์ƒํ˜ธ ์—ฐ๊ฒฐ์— ๊ตฌ๋ฆฌ๋ฅผ ๋Œ€์ฒดํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์œผ๋กœ ์—ฐ๊ตฌ๋˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. [16]

๋˜ํ•œ, ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๋Š” ์ „๊ณ„ ํšจ๊ณผ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ฑ„๋„๋กœ ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜์„ ๋Œ€์ฒดํ•˜๋Š” ๋ฐ ์‚ฌ์šฉ๋˜์–ด ์†Œ์œ„ CNT-FET๋ฅผ ๋งŒ๋“ค์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋‹จ์ผ SWNT๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ๋‘ ๊ฐœ์˜ ์ฃผ ์ „๊ทน์„ ์—ฐ๊ฒฐํ•˜์—ฌ ์ „์ž ์ „๋‹ฌ๊ณผ ์žฅ์น˜ ์•ˆ์ •์„ฑ์„ ๊ฐœ์„ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๊ฐ€ ์ผ์ƒ ์ „์ž ์žฅ์น˜์˜ ๊ธฐ๋ฐ˜์„ ํ˜•์„ฑํ•จ์— ๋”ฐ๋ผ CNT๋Š” ๋ฐ์ดํ„ฐ ์ „์†ก ์†๋„๋ฅผ ๋†’์ด๊ณ  ๋‚˜๋…ธ ์Šค์ผ€์ผ ์ „์ž ๊ตฌ์„ฑ ์š”์†Œ๋ฅผ ์„ค๊ณ„ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์ž ์žฌ๋ ฅ์„ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. [17]

CNT ๊ธฐ์ˆ ์˜ ์ƒ์—…์  ๊ตฌํ˜„์— ๋Œ€ํ•œ ํ˜„์žฌ์˜ ๊ณผ์ œ ๋ฐ ์ œํ•œ

๊ทธ๋ฆผ 5: CVD์— ์˜ํ•œ CNT ํ•ฉ์„ฑ์˜ ๋น„์šฉ ๋ถ„์„

ํ˜„์žฌ ํƒ„์†Œ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ์„ฑ์žฅ ๋ฉ”์ปค๋‹ˆ์ฆ˜์€ ์™„์ „ํžˆ ์ดํ•ด๋˜์ง€ ์•Š์•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์ด๋Ÿฌํ•œ ๋ฏธ์„ธ ๊ตฌ์กฐ์˜ ํ•ฉ์„ฑ์„ ์กฐ์ž‘ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ์–ด๋ ค์› ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์‚ฌ์‹ค, ์ง€๊ธˆ๊นŒ์ง€์˜ ํ•ฉ์„ฑ ๊ณต์ •์€ ์‹œํ–‰์ฐฉ์˜ค๋ฅผ ํ†ตํ•ด์„œ๋งŒ ์ตœ์ ํ™”๋˜์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ์„ฑ์žฅ ๋ฉ”์ปค๋‹ˆ์ฆ˜์„ ์ดํ•ดํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ ์—ฐ๊ตฌ๊ฐ€ ์ง„ํ–‰ ์ค‘์ด์ง€๋งŒ, ์ง€๊ธˆ๊นŒ์ง€ ํƒ„์†Œ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ๊ธฐ์ˆ ์— ๋Œ€ํ•œ ์ˆ˜์š”๋Š” ์ด๋ฅผ ์ƒ์‚ฐํ•˜๋Š” ๋ฐ ๊ด€๋ จ๋œ ๊ณต์ •์„ ์™„์ „ํžˆ ์ดํ•ดํ•˜๋Š” ์šฐ๋ฆฌ์˜ ๋Šฅ๋ ฅ์„ ์•ž์ง€๋ฅด๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

๋˜ ๋‹ค๋ฅธ ์žฅ์• ๋ฌผ์€ ํƒ„์†Œ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ๊ฐ€ ๋งŽ์€ ์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ์— ํฐ ์ž ์žฌ๋ ฅ์„ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์žˆ์ง€๋งŒ, ํ˜„์žฌ ์‹œ์ค‘์— ๋‚˜์™€ ์žˆ๋Š” ๋ชจ๋“  ์žฌ๋ฃŒ๋ฅผ ๋Œ€์ฒดํ•  ๋งŒํผ ์ถฉ๋ถ„ํžˆ ๋งŽ์€ ์–‘์œผ๋กœ, ์ถฉ๋ถ„ํžˆ ๋‚ฎ์€ ๋น„์šฉ์œผ๋กœ ์ƒ์‚ฐ๋˜์ง€ ์•Š์•˜๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ตœ๊ทผ ๋ถ„์„์— ๋”ฐ๋ฅด๋ฉด, SWNT๋ฅผ ์ƒ์‚ฐํ•˜๋Š” ๋Œ€๋Ÿ‰ ์ƒ์‚ฐ ๋น„์šฉ์€ ๊ทธ๋žจ๋‹น ์•ฝ 1,706๋‹ฌ๋Ÿฌ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๋น„์šฉ์˜ ์ƒ๋‹น ๋ถ€๋ถ„(์•ฝ 80%)์€ ํ•ฉ์„ฑ ๋‹จ๊ณ„์—์„œ๋งŒ ๋ฐœ์ƒํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค(๊ทธ๋ฆผ 5). ๋ถ„๋ช…ํžˆ, CNT๊ฐ€ ์‹คํ–‰ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ๊ธฐ์ˆ ์ด ๋˜๊ธฐ ์ „์— ํ•ฉ์„ฑ ๊ณต์ •์˜ ํšจ์œจ์„ฑ์„ ๊ฐœ์„ ํ•ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. [9] MWNT๋Š” ํ•ฉ์„ฑ ๋น„์šฉ์ด ์ €๋ ดํ•˜์ง€๋งŒ, ๊ณ ์ˆœ๋„, ๊ณ ํ’ˆ์งˆ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ํ†ค๋‹น ์–‘์€ ์•„์ง ์ƒ์‚ฐ๋˜์ง€ ์•Š์•˜์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ํ˜„์žฌ์˜ ์žฅ์• ๋ฌผ์—๋„ ๋ถˆ๊ตฌํ•˜๊ณ , ์—ฐ๊ตฌ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ํƒ„์†Œ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ๊ธฐ์ˆ ์˜ ๊ด‘๋ฒ”์œ„ํ•œ ๊ตฌํ˜„์ด ํ˜„์‹ค์— ํ•œ ๊ฑธ์Œ ๋” ๋‹ค๊ฐ€๊ฐ€๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

์ฐธ๊ณ ๋ฌธํ—Œ

  1. โ†‘๋‹ค์Œ์œผ๋กœ ์ด๋™:1.0 1.1 1.2 Charlier, JC, ๋ฐ Sumio Iijima. ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ์„ฑ์žฅ ๋ฉ”์ปค๋‹ˆ์ฆ˜. MS Dresselhaus, G Dresselhaus, Ph. Avouris(ํŽธ์ง‘์ž) ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ: ํ•ฉ์„ฑ, ๊ตฌ์กฐ, ํŠน์„ฑ ๋ฐ ์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ. (55-79์ชฝ). New York: Springer, 2001.
  2. โ†‘ Seo, JW, ๋ฐ L. Forrรณ. ๋‚˜๋…ธ์ „๊ธฐ๊ธฐ๊ณ„ ์‹œ์Šคํ…œ ์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ์˜ ๊ตฌ์กฐ์  ํŠน์„ฑ. S. Saito ๋ฐ A. Zettl(ํŽธ) ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ: ๊ทธ๋ž˜ํ•€์˜ ์–‘์ž ์‹ค๋ฆฐ๋”. (pp. 135-70). ๋‰ด์š•: Elsevier, 2008.
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  4. โ†‘๋‹ค์Œ์œผ๋กœ ์ด๋™:4.0 4.1 4.2 Mann, David. ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ํ•ฉ์„ฑ. MJ O'Connell(ํŽธ์ง‘) ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ: ํŠน์„ฑ ๋ฐ ์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ(19-50์ชฝ). ์บ˜๋ฆฌํฌ๋‹ˆ์•„์ฃผ ๋ฉ˜๋กœํŒŒํฌ: Taylor and Francis, 2006
  5. โ†‘ Guo T. et al. ๊ด€ํ˜• ํ’€๋Ÿฌ๋ Œ์˜ ์ž์ฒด ์กฐ๋ฆฝ. J. Phys. Chem. 1995, 99, 10694-97
  6. โ†‘๋‹ค์Œ์œผ๋กœ ์ด๋™:6.0 6.1 6.2 6.3 Dai, Hongjie. ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ์„ฑ์žฅ ๋ฐ ํŠน์„ฑํ™”. MS Dresselhaus, G Dresselhaus, Ph. Avouris(ํŽธ์ง‘์ž) ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ: ํ•ฉ์„ฑ, ๊ตฌ์กฐ, ํŠน์„ฑ ๋ฐ ์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ. (pp.29-51). New York: Springer, 2001.
  7. โ†‘๋‹ค์Œ์œผ๋กœ ์ด๋™:7.0 7.1 7.2 Joselevich, E., Dai, HJ; Liu, J.; Hata, K.; Windle, A., ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ํ•ฉ์„ฑ ๋ฐ ์กฐ์ง. Top Appl Phys 2008, 111, 103-166
  8. โ†‘๋‹ค์Œ์œผ๋กœ ์ด๋™:8.0 8.1 Jacques, D. et al. ๋‹ค์ค‘๋ฒฝ ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ํ•ฉ์„ฑ. ์‘์šฉ ์—๋„ˆ์ง€ ์—ฐ๊ตฌ ์„ผํ„ฐ(2003)
  9. โ†‘๋‹ค์Œ์œผ๋กœ ์ด๋™:9.0 9.1 Isaacs, JA et al. ๋‹จ์ผ๋ฒฝ ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ๊ณต์ •์˜ ๊ฒฝ์ œ์  ํ‰๊ฐ€. J Nanopart Res, Springer. (2009)
  10. โ†‘ Muir, Alastair. ๊ฑฐ๋ž˜ํ˜• ํ”„๋กœ์ ํŠธ์—์„œ ํ”„๋กœ์„ธ์Šค ํšจ์œจ์„ฑ ๊ณ„์‚ฐ. http://web.archive.org/web/20091217103304/http://www.isixsigma.com:80/library/content/c031208a.asp (2009)
  11. โ†‘ Futaba, DN et al. ๋ฌผ ์ง€์› ๋‹จ์ผ๋ฒฝ ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ์˜ ๋™์—ญํ•™. Phys. Rev. L. 056104 (2005)
  12. โ†‘ Badour, CE et al. ์™ธ๋ถ€ ์ด‰๋งค๋ฅผ ์ถ”๊ฐ€ํ•˜์ง€ ์•Š๊ณ  ์Šคํ…Œ์ธ๋ฆฌ์Šค ์Šคํ‹ธ 304์—์„œ ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ํ•ฉ์„ฑ์„ ์œ„ํ•œ ๊ฐ„๋‹จํ•œ ์—ด CVD ๋ฐฉ๋ฒ•. Carbon 47(2008), 313-347.
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์ƒ์„ฑ๋จ2009๋…„ 11์›” 5์ผ Daniel Paz-Soldan ์ž‘์„ฑ
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