Synthesis of Carbon Nanotubes/ko

ํ์๋๋ ธํ๋ธ์ ํจ์จ์ ์ธ ๋๋ ์์ฐ์ ์ํ ํ์ฌ ๋ฐ ๋ฏธ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ํ ๊ฒํ
ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ W๊ฐ 1991๋ ์ ์ฒ์ ๋ฐ๊ฒฌ๋ ์ด๋๋ก , ์ด ๋๋ผ์ด ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋๋ ์์ฐํ๊ธฐ ์ํด ์๋ ๊ฐ์ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ ํฌ์๋์์ต๋๋ค. ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ(CNT)๋ ์ฌ๋ฃ ๊ณตํ์ ํ๋ช ์ ์ผ์ผ์ผ ์๋ก์ด ํน์ฑ์ ๊ฐ์ง ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ๋ง๋ค ์ ์๋ ์ ์ฌ๋ ฅ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋๋ ธํ๋ธ๋ฅผ ๋๋ ธ์ค์ผ์ผ ์ฅ์น ๋ฐ ์ฌ๋ฃ์ ๊ตฌํํ ์ ์๋ ์คํ ๊ฐ๋ฅํ ์ฌ๋ฃ๋ก ๋ง๋ค๊ธฐ ์ํด์๋ ๋๊ท๋ชจ๋ก CNT ํฉ์ฑ ๊ณต์ ์ ์ต์ ํํ๋ ๊ฒ์ด ํ์ํฉ๋๋ค.
๋ด์ฉ๋ฌผ
๊ฐ์
CNT๋ ๊ณ ์ ํ ํน์ฑ ๋๋ฌธ์ ๋งค์ฐ ๋ฐ๋์งํ ์ฌ๋ฃ์ ๋๋ค. C2 ๋ค์ด๋จธ W์ C3 ํธ๋ฆฌ๋จธ W์ ์ฌ์ฌ๊ณผ ๋ฐ๊ตฌํ ์บก์ผ๋ก ํ์ฑ๋ ํ๋ฌ๋ W์ ํ์๋ฌผ์ ๋๋ค . [ 1 ] ์คํ ๊ฒฐ๊ณผ , ์ธ์ฅ ๊ฐ๋ W ๊ฐ ~ 25 GPa์ด๊ณ ์๋ฅ W๊ฐ ์ต๋ 1 TPa์ด๋ฏ๋ก ์ฌ์ฉ ๊ฐ๋ฅํ ์ฌ๋ฃ ์ค ๊ฐ์ฅ ๊ฐํ๊ณ ๋จ๋จํ ์ฌ๋ฃ ์ค ํ๋์์ด ๋ฐํ์ก์ต๋๋ค . ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ๋ ๋ํ ์ ๋์ฑ์ด ๋งค์ฐ ๋๊ณ ๊ณ ์ ํ ๊ดํ์ ํน์ฑ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ต๋๋ค. [2] ๋๋ ธ์ค์ผ์ผ ์ง์ ํ๋ก W ์ ์ ๊ณ ํจ๊ณผ ํธ๋์ง์คํฐ W , ํ์๊ด ์ ์ง W , ๋ณตํฉ ์ฌ๋ฃ W ๋ฑ์์ ์ ์์ค ์ปค๋ฅํฐ๋ก์์ ์ ์ฌ๋ ฅ์ด ์์ต๋๋ค . ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ๋ ๋จ์ผ ํ์ ์ธต์ผ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ๋จ์ผ๋ฒฝ ๋๋ ธํ๋ธ(SWNT)์ ์ฌ๋ฌ ๊ฐ์ ์ค์ฒฉ๋ ํ๋ธ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ๋ค์ค๋ฒฝ ๋๋ ธํ๋ธ(MWNT)์ ๋ ๊ฐ์ง ์ฃผ์ ๋ฒ์ฃผ๋ก ๋๋ฉ๋๋ค.
์ผ๋ฐ์ ์ธ ํฉ์ฑ ๊ธฐ์
์ํฌ ๋ฐฉ์ ๋ฐ ๋ ์ด์ ์ ์
์๋์ CNT๋ฅผ ํฉ์ฑํ๋ ๋ฐ ์ฑ๊ณต์ ์ผ๋ก ์ฌ์ฉ๋ ์ฒซ ๋ฒ์งธ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ํฌ ๋ฐฉ์ ๋ฒ์ด์์ต๋๋ค. ๊ฐ๊ฐ 6mm์ 9mm ํ์ฐ ๋ง๋๋ก ๋ง๋ ๋ฐ๋ ์๊ทน ๋ฐ ์๊ทน ๋จ์๋ฅผ ๋ถํ์ฑ ํ๊ฒฝ(He ๋๋ Ar, ~500 Torr)์ ๋์ต๋๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ฝ 100A(DC ๋๋ AC)์ ๊ฐํ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๋จ์ ์ฌ์ด๋ก ํต๊ณผ์์ผ ํ์ฐ์ ํ์ ์์๋ฅผ ์ฆ๋ฐ์ํค๋ ์ํฌ ์ ๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ์์ฑํฉ๋๋ค. ๋๋ ธํ๋ธ๋ ์ด๋ฌํ ๋จ์์ ํ๋ฉด์์ ์ฑ์ฅํฉ๋๋ค. [3] ์ด๋งค๋ฅผ ํ์ฐ ๋จ์์ ๋์ ํ ์ ์์ต๋๋ค. MWNT๋ ์ด๋งค ์์ด๋ ํ์ฑํ ์ ์์ง๋ง SWNT๋ ์ฒ ์ด๋ ์ฝ๋ฐํธ์ ๊ฐ์ ๊ธ์ ์ด๋งค๋ฅผ ์ฌ์ฉํด์ผ๋ง ํ์ฑํ ์ ์๋ค๋ ๊ฒ์ด ๋ฐํ์ก์ต๋๋ค. [4] 1995๋ ์ ์ฒ์ ๊ฐ๋ฐ๋ ๋ ์ด์ ์ด๋ธ๋ ์ด์ ์ด๋ผ๋ ๊ณต์ ์ ๋น์ทํ ์๋ฆฌ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๋๋ ธํ๋ธ๋ฅผ ์์ฐํฉ๋๋ค. ํ์๋ ๊ฐ๋ ฅํ๊ณ ์ง์ค๋ ๋ ์ด์ ๋น์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ํ์ฐ ํ๊ฒ์์ ๊ณ ์จ์์ ์ฆ๋ฐ๋ฉ๋๋ค. ๊ฐ์ฅ ๊ธฐ๋ณธ์ ์ธ ๋ ์ด์ ์ ์ญ ๊ธฐ์ ์์๋ ์ง๊ฒฝ 1.25cm์ ํ์ฐ ํ๊ฒ์ ์ง๊ฒฝ 2.5cm, ๊ธธ์ด 50cm์ ์์ ํ๋ธ์ ๋ฃ๊ณ 1200oC๋ก ์ ์ด ํ๊ณ 99.99% ์์ ์๋ฅด๊ณค์ผ๋ก ์ฑ์ 500Torr์ ์๋ ฅ์ผ๋ก ๊ฐ์ดํฉ๋๋ค. 250mJ(10Hz)์ ํ์ค Nd:Yag ๋ ์ด์ W ๋น์ ์ํ ๋ ์ฆ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ด์ ์ ๋ง์ถ๊ณ ๋น์ ํ์ฐ ํ๊ฒ ํ๋ฉด์ ๊ท ์ผํ๊ฒ ํฉ์ธ์ด๊ฐ๋๋ค. ์์น ์๋ ๋น์ ์ง ํ์์ ํผํฉ๋ ๋๋ ธํ๋ธ๋ ์ฑ๋ฒ ๋์ ๋๊ฐ๋ ๊ธฐํ์ ์์ง๋ฉ๋๋ค. [5]
์ด ๋ ๊ฐ์ง ๋ฐฉ๋ฒ ๋ชจ๋ ํ์ฅ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์ ํ์ ์ ๋๋ค. ๊ณ ์ฒด ํ์ฐ์ ํ์ํ ํ์๋ฅผ ๊ณต๊ธํ๊ธฐ ์ํด >3000ยฐC์์ ์ฆ๋ฐ๋์ด์ผ ํ๋ฉฐ, ์์ฑ๋ ๋๋ ธํ๋ธ๋ ์ฝํ ํํ์ด๋ฉฐ, ๊ณต์ ์์ ์์ฐ์ ์ผ๋ก ์์ฑ๋๋ ๋น์ ์ง ํ์์ ํ๋ฌ๋ ์ ์ ๊ฑฐํ๊ธฐ ์ํด ๊ด๋ฒ์ํ ์ ์ ๊ฐ ํ์ํฉ๋๋ค. [6]
ํํ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ

ํํ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ(CVD)์ ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ์ ๋๋ ์์ฐ์ ๊ฐ์ฅ ํฐ ์ ์ฌ๋ ฅ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋น๊ต์ ๋ฎ์ ์จ๋์์ ๊ฒฐํจ ์๋ CNT๋ฅผ ๋๋์ผ๋ก ์์ฐํ ์ ์๋ ๋ค์ฌ๋ค๋ฅํ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋๋ค.
CVD๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ CNT๋ฅผ ์์ฐํ๋ ์ผ๋ฐํ๋ ๊ณต์ ์ด ์ฌ๊ธฐ์ ์ค๋ช ๋์ด ์์ต๋๋ค. ๊ธฐ์ง ์ฌ๋ฃ(์: ์๋ฃจ๋ฏธ๋, ์์)๋ ์ด๋งค ์ฆ์ฐฉ์ ์ค๋นํ๊ธฐ ์ํด ์ธ์ฒ๋ฉ๋๋ค. ๋ค๊ณต์ฑ ๊ธฐ์ง์ด ํ์ํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก ๋ถ์ฐ/๋ฉํ์ฌ ์ฉ์ก์ผ๋ก ์ ๊ธฐํํ์ ์์นญ์ ์ํํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋๋ ธํ๋ธ๋ ๋ค๊ณต์ฑ ๊ธฐ์ง์์ ๋ ๋น ๋ฅธ ์๋๋ก ์ฑ์ฅํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก ํ์๊ฐ ๋ค๊ณต์ฑ ๊ธฐ์ง ์ธต์ ํตํด ํ์ฐ๋์ด ์ฑ์ฅํ๋ ๋๋ ธํ๋ธ์ ๊ณต๊ธ๋ ์ ์์์ ์์ฌํฉ๋๋ค. [7] ์ด๋งค(์: ์ฒ , ๋์ผ)๋ ์ด ์ฆ๋ฐ์ ์ํด ๊ธฐ์ง์ ์ฆ์ฐฉ๋ฉ๋๋ค. ์ฉ๊ด๋ก๋ 500-1200ยฐC ์ฌ์ด์ ์จ๋๋ก ์ฌ๋ผ๊ฐ๊ณ ์์ธํธ๋ , ์ํธ๋ ๋๋ ์ผ์ฐํํ์์ ๊ฐ์ ํํ์์ ๊ฐ์ค๊ฐ ๋ฐ์๊ธฐ์ ์ฒ์ฒํ ํํ๋ฉ๋๋ค [8] (๊ทธ๋ฆผ 1). ์ด๋ฌํ ๊ณ ์จ์์ ํ์๋ ๊ณต๊ธ ์๋ฃ ๋ถ์์์ ๋ถ๋ฆฌ๋์ด ์ด๋งค๋ก ํ์ฐ๋ฉ๋๋ค. ์์๋ ๊ธฐํ์์ ๋๋ ธํ๋ธ ์ํธ๋ก ๋ฐฐ์ด๋์ด ๋น์ ์ง ํ์, ํ๋ฌ๋ ๋ฐ ์ด๋งค ์ฌ๋ฃ์ ๊ฐ์ ๋ถ์๋ฌผ๊ณผ ๊ฒฐํฉ๋ฉ๋๋ค. ๋๋ถ๋ถ์ ๊ฒฝ์ฐ ์ด๋ฌํ ๋ถ์๋ฌผ์ ์ ํ ๋จ๊ณ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ ๊ฑฐํด์ผ ํฉ๋๋ค. ์ฐ ์ฒ๋ฆฌ ํ ์ด์ํ ์ฒ๋ฆฌ W๊ฐ ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ํ๋ก์ธ์ค์ ์ธ๋ถ ์ฌํญ์ ์๋์ ์ค๋ช ๋์ด ์์ต๋๋ค.
์ฑ์ฅ ๋ฉ์ปค๋์ฆ

ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ์ ์ฑ์ฅ ๋ฉ์ปค๋์ฆ์ ์์ ํ ์ดํด๋์ง ์์์ต๋๋ค. ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ ์ฑ์ฅ์ ๋ํ ๋ค์ํ ๋ชจ๋ธ์ด ์ ์๋์์ผ๋ฉฐ, ๊ณ ์ฒด์ ์ฑ์ฅ๊ณผ ์ผ์นํ๋ ๊ฐ์ฅ ์์ฉ ๊ฐ๋ฅํ ๋ชจ๋ธ์ ์ฌ๊ธฐ์์ ์ค๋ช ํฉ๋๋ค. ์์ ํ์ ์์๋ ๊ตฌํ์ด๋ผ๊ณ ๊ฐ์ ๋๋ ํฐ ๊ธ์ ์ด๋งค ์์ ์ฃผ์๋ก ํ์ฐ๋ฉ๋๋ค. ํ์๋ ๊ธ์์ ์ธก๋ฉด์์ ํต์์ฑ๋์ด ํ๋ธ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ์ฑํฉ๋๋ค(๊ทธ๋ฆผ 2). ํ์ฑ ์ค ์ด๋งค ๋ฌผ์ง์ ์์น๋ ๊ธ์ ์์์ ๊ธฐ์ง ์ฌ์ด์ ์์๊ฐ ํ์ ๊ฐ๋์ ๋ฐ๋ผ ๋ฌ๋ผ์ง๋๋ค. ๊ธ์์ด ๊ธฐ์ง์ ์ฝํ๊ฒ ๊ฒฐํฉ๋์ด ์์ผ๋ฉด ๋๋ ธํ๋ธ๊ฐ ๊ธฐ์ง์์ ์์ง์ผ๋ก ํ์ฑ๋ ๋ ๊ทธ๋๋ก ์ ์ง๋ ์ ์์ต๋๋ค(์ด ๋ฉ์ปค๋์ฆ์ ๊ธฐ์ ์ฑ์ฅ ์ด๋ผ๊ณ ํจ ). ๊ทธ๋ ์ง ์์ผ๋ฉด ํ๋ธ๊ฐ ์๋๋ก ์ฑ์ฅํ ๋ ๊ธ์์ด ํ์์ ์ด๋ฐ๋ ์ ์์ต๋๋ค( ํ ์ฑ์ฅ ์ด๋ผ๊ณ ํจ ). [1]
์ด๋งค
์ด๋งค๋ ๋๋
ธํ๋ธ๊ฐ ์ฑ์ฅํ ์ ์๋ ๊ธฐ๋ฐ์ ์ ๊ณตํ๋ฉฐ CVD ํฉ์ฑ์ ์ํด ์ ํ๋ ์ฌ๋ฃ๋ ์์ฐ๋ CNT์ ์์จ๊ณผ ํ์ง์ ํฌ๊ฒ ๋ฌ๋ผ์ง ์ ์์ต๋๋ค. ์ ํต์ ์ผ๋ก ์ด๋งค๋ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๋๋ ์ค๋ฆฌ์นด์ ๊ฐ์ ์ง์ง์ฒด ์ฌ๋ฃ์ ์ฆ์ฐฉ๋ ์ ์ด ๊ธ์ ๋๋
ธ์
์(์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ฒ , ๋์ผ, ๋ชฐ๋ฆฌ๋ธ๋ด)์
๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ์ฆ๋ฐ ์ด๋งค๋ ์ฌ์ฉ๋์ด ๋๋
ธํ๋ธ๊ฐ ๊ธฐ์ฒด ์ํ์์ ํ์ฑ๋๊ณ ์ฐจ๊ฐ์ด ํ๋ฉด์ ์์ถ๋ฉ๋๋ค. [4] ์ด๋งค๋ ๋ฐ๋์งํ์ง ์์ ๋น์ ์ง ํ์๋ก ์ฝํ
๋๋ฉด ๋นํ์ฑํ๋์ด CNT ์ฑ์ฅ ํ๋ก์ธ์ค๊ฐ ์ค๋จ๋ฉ๋๋ค. ์ด์์ ์ธ ์ด๋งค ์ฌ๋ฃ๋ ํ๋ฉด์ ๊ณผ ๊ธฐ๊ณต ๋ถํผ(๊ณ ์จ์์ ์๊ฒฐ๋์ด์๋ ์ ๋๋ ํน์ฑ)๊ฐ ํฌ๊ณ ๊ธ์-์ง์ง์ฒด ์ํธ ์์ฉ์ด ๊ฐํด์ผ ํฉ๋๋ค. [6]
CVD๋ก ์์ฐ๋ ํ์ ๋๋
ธํ๋ธ์ ํ๊ท ์ง๊ฒฝ์ ์ด๋งค ์
์์ ํฌ๊ธฐ์ ์ง์ ์ ์ผ๋ก ๊ด๋ จ์ด ์์ต๋๋ค. ์ด ๊ด๊ณ๋ ๊ทธ๋ฆผ 2์ ๋ํ๋ ์ฑ์ฅ ๋ฉ์ปค๋์ฆ์ผ๋ก ์ค๋ช
ํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋๋
ธํ๋ธ๋ ์ด๋งค ํ๋ฉด์ ์์ง์ผ๋ก ์ฑ์ฅํ๋ ๊ฒฝํฅ์ด ์์ผ๋ฏ๋ก ์
์์ ์ง๊ฒฝ์ ๋๋
ธํ๋ธ์ ์ง๊ฒฝ์ ๊ฒฐ์ ํฉ๋๋ค. [8] ๋ฐ๋ผ์ CVD๋ ํ์ ๋๋
ธํ๋ธ์ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ์ง์ ์ ์ดํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก ์ฌ๋ฃ ์ฒ๋ฆฌ์ ์ ํฉํ ์ต์
์
๋๋ค.
ํ์ ์๋ฃ
CVD์์ ํ์๋ ํํ์์ ๊ฐ์ค์ ์ํด ๊ณต๊ธ๋ฉ๋๋ค. ๋ถ์์ ๋ฐ์์ฑ์ ์ฌ์ฉํ ํํ์์๋ฅผ ๊ฒฐ์ ํ๋ ์ค์ํ ์์์ ๋๋ค. ๋ฐ์์ฑ์ ํ์์ ์์ ์์ ์ฌ์ด์ ๊ณต์ ๊ฒฐํฉ์ ๊ฐ๋์ ์ํด ๊ฒฐ์ ๋ฉ๋๋ค. ์ฆ, ๋ฐ์์ฑ์ด ๋ ๋์ ๋ถ์๋ ๊ตฌ์ฑ ์์๋ก ๋ถํด๋๋ ๋ฐ ๋ ์ ์ ์๋์ง๊ฐ ํ์ํฉ๋๋ค. ์ด ๋ถํด๋ ์จ๋๋ฅผ ๋์ฌ ๋ถ์์ ๊ฒฐํฉ์ ๋๋ ๋ฐ ๋์์ด ๋๋ ์ด๋ ์๋์ง๋ฅผ ์ ๊ณตํ์ฌ ๋ฌ์ฑ๋ฉ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ํธ๋ (C 2 H 4 )๊ณผ ์์ธํธ๋ (C 2 H 2 )์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋ฉํ๊ณผ ์ผ์ฐํํ์๋ณด๋ค ๋ฐ์์ฑ์ด ๋ ๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ํ์ ์๋ฃ๋ก ์ ํ๋ฉ๋๋ค. ๋ฒค์ , ๋ฉํ์ฌ ๋ฐ ์ํ์ฌ๋ ๋ค์ํ ์คํ์ ์ฑ๊ณต์ ์ผ๋ก ์ฌ์ฉ๋์์ต๋๋ค. [4]
์ ํ
ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ๋ ๋ค์ํ ๊ธฐ์ ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๋ถ์๋ฌผ๊ณผ ์ด๋งค ์ ์์์ ๋ถ๋ฆฌํ ์ ์์ต๋๋ค. ๊ฐ์ฅ ์ผ๋ฐ์ ์ธ ์์ฐ ํ ๋จ๊ณ๋ (1) ๋ถ์ฐ, ๊ทธ ๋ค์ (2) ์ฐ ํ๋ฅ, ๋ง์ง๋ง์ผ๋ก (3) ๋ฏธ์ธ ์ฌ๊ณผ์ ๋๋ค. ๋ถ์ฐ์ Triton X100(์ธ์ ์ ์ผ์ข )๊ณผ ๊ฐ์ ๊ณ๋ฉดํ์ฑ์ ๋ก ๋๋ ธํ๋ธ๋ฅผ ์ด์ํ ์ฒ๋ฆฌํ์ฌ ์ํํฉ๋๋ค. ํ์ 1g๋น 0.01ml์ Triton X100๊ณผ 0.08L์ ๋ฌผ ์ฉ์ก์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๋๋ ธํ๋ธ๋ฅผ ๋ถ์๋ฌผ์์ ๋ถ๋ฆฌํฉ๋๋ค. ์ฐ ํ๋ฅ ์ฒ๋ฆฌ์๋ ์ข ์ข 10์๊ฐ ๋์ ๋ถ์ฐ ์ ํ 1g๋น 0.4L์ ์ง์ฐ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ํํฉ๋๋ค. ์ด ๋จ๊ณ๋ ๋๋ฆฌ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์์ฐ์ฑ์ ์ ์งํ๊ธฐ ์ํด ์ฌ๋ฌ ์ฒ๋ฆฌ ๋ผ์ธ์ด ํ์ํฉ๋๋ค. ์ฌ๊ณผ๋ ์ฝ 20๋ถ ๋์ ํด๋ฆฌํ ํธ๋ผํ๋ฃจ์ค๋ก์ํธ๋ (PTFE) ๋ฉค๋ธ๋ ์ธ์ ํตํด ์ํ๋์ง๋ง ์ํ๋ ์๋๋ฅผ ์ป์ผ๋ ค๋ฉด ์ฌ๋ฌ ๋ฒ ์คํํด์ผ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ํ๊ท ์ ์ผ๋ก ๋๋ ธํ๋ธ ์์จ์ ์ฝ 90%๋ ์ ์ ๊ณผ์ ํ์ ํ์ํ ์ ์์ต๋๋ค. [9]
CVD์ ์ํ ์ ๋ ฌ๋ ๋๋ ธํ๋ธ
์ต๊ทผ์ ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋๋ ธํ๋ธ๋ฅผ ์ง์ ์๊ฒ ํฉ์ฑํ ์ ์์์ด ๋ฐํ์ก์ต๋๋ค. ์ด๋งค๋ ์๋ ๋ง์คํฌ W๋ฅผ ํตํด ํจํด์ผ๋ก ๋ค๊ณต์ฑ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ธฐํ์ ์ฆ์ฐฉํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก ๋๋ ธํ๋ธ๋ ํน์ ๋ถ์์์๋ง ํต์ ํ์ฑํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋๋ ธํ๋ธ๊ฐ ์ด๋งค ๋ถ์์์ ์์ง์ผ๋ก ์๋ผ๋ฉฐ ๊ฐ ํ๋ธ๊ฐ ์ฃผ๋ณ ํ๋ธ์ ๋ฐ๋ฐ๋ฅด๋ฐ์ค ํ W ์ ์ํด ์งํฑ๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ '๋๋ ธํ๋ธ ์ฒ'์ผ๋ก ์๋ ค์ ธ ์์ต๋๋ค. SWNT์ ์ง์์ ์ฑ์ฅ๋ ์ ์ฆ๋์์ต๋๋ค. ์ด๋งค ๋ฌผ์ง์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ธฐ๋ฅ์ ๊ผญ๋๊ธฐ์ ์ ํ์ ์ผ๋ก ์ธ์๋์๊ณ , CVD ํ SWNT๋ ๊ทธ๋ฆผ 3๊ณผ ๊ฐ์ด ๊ธฐ๋ฅ์์ ๊ธฐ๋ฅ์ผ๋ก ๋งค๋ฌ๋ ค ์ฑ์ฅํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ํ๋ฌ์ต๋๋ค. [6] ์ ์ด๋ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ๋ฅผ ์ฑ์ฅ์ํค๋ ๊ฒ์ CNT ๊ธฐ๋ฐ ๋๋ ธ๊ธฐ์ ์ ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์์ฐํ๊ธฐ ์ํด ์ต๋ํด์ผ ํ ํ์์ ์ธ ๊ธฐ์ ์ ๋๋ค.
CVD ํฉ์ฑ์ ์ต์ ํ
CVD๊ฐ ํ์ ๋๋
ธํ๋ธ์ ๋๋ ์์ฐ์ ๊ฐ์ฅ ์ ๋งํ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ํ๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ํฉ์ฑ ๊ณต์ ์ ์์จ๊ณผ ์๋์ง ํจ์จ์ฑ์ ๊ฐ์ ํ๊ธฐ ์ํ ๊ด๋ฒ์ํ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ ์ํ๋์์ต๋๋ค. ์ ์กฐ ํจ์จ์ฑ์ ๋งค์ฐ ๊ฐ๋จํ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก ์ ๋ํํ ์ ์์ต๋๋ค.
๋ถ๊ฐ๊ฐ์น ์๊ฐ์ ์์ฅ์ฑ ์๋ ์ ํ์ ๋ง๋๋ ๋ฐ ํฌ์
๋ ๋ชจ๋ ์๊ฐ์ ํฌํจํฉ๋๋ค. ํจ์จ์ฑ์ ๋์ด๋ ค๋ฉด ์๊ฐ์ ๋ณด๋ค ์์ฐ์ ์ผ๋ก ์ฌ์ฉํ๊ฑฐ๋ ์ ์ฒด์ ์ผ๋ก ๋ ์งง์ ์๊ฐ ๋ด์ ํ๋ก์ธ์ค๋ฅผ ์๋ฃํด์ผ ํฉ๋๋ค. ๋ํ ์ ์ฉํ ๋๋
ธํ๋ธ์ ์์จ์ ๋์ด๋ฉด ๋์ผํ ์๊ฐ ๋์ ์ ์กฐ ํ๋ก์ธ์ค์ ๋ ๋ง์ ๊ฐ์น๋ฅผ ๋ํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ํจ์จ์ฑ์ด ๋์์ง๋๋ค. ๋ ํจ์จ์ ์ธ ํ๋ก์ธ์ค๋ ํ๊ธฐ๋ฌผ์ ๋ ๋ฐ์์ํค๋๋ฐ, ์ด๋ ์์ฐ ํ ํ๊ธฐ๋ฌผ์ ํตํฉํ๋ ๋ฐ ์๊ฐ์ ํฌ์ํด์ผ ํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์
๋๋ค.
ํ์ฅํ์ฌ ํฉ์ฑ ํ๋ก์ธ์ค์ ์ ์ฒด ๋น์ฉ์ ํจ์จ์ฑ์ด ์ฆ๊ฐํจ์ ๋ฐ๋ผ ๊ฐ์ํฉ๋๋ค. ๊ถ๊ทน์ ์ธ ๋ชฉํ๋ ๋น์ฉ์ ์ต์ํํ์ฌ ๋๋
ธํ๋ธ๋ฅผ ๋ค์ํ ์์ฉ ๋ถ์ผ์์ ์ฌ์ฉํ ์ ์๋๋ก ํ๋ ๊ฒ์
๋๋ค. ์ด ๋ชฉํ๋ฅผ ๋ฌ์ฑํ๊ธฐ ์ํด ๊ฐ๋ฐ๋ ๊ฐ์ฅ ์ ๋งํ ๋ฐฉ๋ฒ ์ค ๋ช ๊ฐ์ง๋ฅผ ์๋์ ๊ฐ์กฐ ํ์ํฉ๋๋ค.
๋ฌผ ์ง์ CVD("์ด์ฑ์ฅ")
์ด๋งค๋ CNT๋ฅผ ํตํํ๋ ๋ฅ๋ ฅ์ ํ๊ณ๊ฐ ์์ต๋๋ค. ์ด๋งค๊ฐ ๋นํ์ฑํ๋๋ ์ด์ ๋ ์๊ฐ์ด ์ง๋จ์ ๋ฐ๋ผ ๋น์ ์ง ํ์๊ฐ ์ด๋งค ์ฃผ์์ ์์ฐ์ค๋ฝ๊ฒ ํ์ฑ๋์ด ์ฌ์ฉ ๊ฐ๋ฅํ ํตํ ์ฌ์ดํธ๋ฅผ ๋ฎ์ด๋ฒ๋ฆฌ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋๋ค. ์ด๋งค ๋ถ๊ดด ๋ชจ๋ธ์ ๋ฐฉ์ฌ์ฑ ๋ถ๊ดด W ๋ชจ๋ธ๊ณผ ๊ฐ๋ ฅํ ์๊ด ๊ด๊ณ๋ฅผ ๋ณด์์ต๋๋ค . ๋ฐ๋ผ์ ์ค์ ๋ ์ฑ์ฅ ์กฐ๊ฑด์์ ์ฒ์ ๋์ด H(t)๋ ์ง์์ ๋ถ๊ดด๋ก ์ค๋ช ํ ์ ์์ต๋๋ค.
์ฌ๊ธฐ์ ฮฒ๋ ์ด๊ธฐ ์ฑ์ฅ ์๋์ด๊ณ , ฯ๋ ์ด๋งค ์๋ช ์ด๋ฉฐ, ฮฒฯ๋ ์ง๊ด์ ์ผ๋ก ์ฒ์ ์ต๋ ๋์ด๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ์ฃผ๋ณ ๋๊ธฐ์ ์๋์ ์์ฆ๊ธฐ(ppm ๋ฒ์)๋ฅผ ์ถ๊ฐํ๋ฉด ์ด๋งค ๋ฌผ์ง์ ์๋ช ์ ๋๋ฆด ์ ์์ต๋๋ค. ๋๋๊ฒ๋ ์ด ์ง์์ ๊ฐ์ ๋ชจ๋ธ์ ์ด๋งค ๊ฑฐ๋์ ๋งค์ฐ ์ ํํ๊ฒ ์์ธกํ์ต๋๋ค. ์ด๋งค ์๋ช ๊ณผ ์ฒ์ ๋์ด๋ ํน์ ๋ฌผ-์ํธ๋ ๋น์จ์์ ์ต๋ํ๋ ์ ์์ต๋๋ค. ์ต๊ทผ ์คํ์์๋ ์ด ์ต์ ๋น์จ์ด ์ฑ์ฅ ์๊ฐ๊ณผ ์จ๋์ ๋ฌด๊ดํ๋ค๋ ๊ฒ์ ๋ณด์ฌ์ฃผ๋๋ฐ, ์ด๋ ๋ฌผ์ด ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ ์ฑ์ฅ ๊ณผ์ ์ ๊ทผ๋ณธ์ ์ธ ์ธก๋ฉด์ ๋ณํ์ํค๊ณ ์๋ค๋ ์ฌ์ค์ ์ง์ ํฉ๋๋ค. [7]

๋ฌผ์ ํจ๊ณผ๋ ์ ์ดํด๋์ง ์์ง๋ง, ๋ฌผ์ด ๋๋
ธํ๋ธ๋ฅผ ์์นญํ์ง ์๊ณ ๋น์ ์ง ํ์๋ฅผ ์์นญํ๋ค๋ ๊ฐ์ค์ด ์์ต๋๋ค. ๊ทธ ํจ๊ณผ๋ ํตํ์ฑ ๋ถ์๊ฐ ๋น์ ์ง ํ์๋ก๋ถํฐ ์์ ๋ก์ ์ด๋งค๊ฐ ๋ถํ์ฑํ๋์ง ์๊ณ ๋๋
ธํ๋ธ๋ ์ํฅ์ ๋ฐ์ง ์์ ์ฑ์ฅ์ด ์ฆ๊ฐํ๋ค๋ ๊ฒ์
๋๋ค(๊ทธ๋ฆผ 4). ์ด์ฑ์ฅ์ ๋ฐ๋ฆฌ๋ฏธํฐ ๋ฒ์์์ ์ด์๋(์๋ 99.98%) ์์ง ์ ๋ ฌ SWNT ์ฒ์ ์์ฑํ์ต๋๋ค. ์ด๋ ์ ๋ ฌ๋ CNT ํฉ์ฑ์์ ์ ๋ก ์๋ ์ฑ๊ณผ์
๋๋ค. [11]
์ด๋งค๊ฐ ์๋ CVD
์ด๋งค ๋ฌผ์ง์ ๋๋ ธํ๋ธ ์ฑ์ฅ์ ์ด์งํ ์ ์์ง๋ง, ํฉ์ฑ ๊ณต์ ์ ๋ง์ง๋ง์ ์ ์ ํด์ผ ํฉ๋๋ค. ๋๋๊ฒ๋ ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ๋ฅผ ์์ฐํ๋ ๋ฐ ์ธ๋ถ ์ด๋งค๊ฐ ๋ฐ๋์ ํ์ํ์ง ์๋ค๋ ๊ฒ์ด ๋ฐํ์ก์ต๋๋ค. ์ด๋ ์ ์ ์ ํ์์ฑ์ ์์ ๊ณ ๊ณต์ ์ ํจ์จ์ฑ์ ๋์ ๋๋ค. Fadour ๋ฑ์ ์์นญ๋ ์คํ ์ธ๋ฆฌ์ค ์คํธ์์ CNT๋ฅผ ์ฑ์ฅ์ํค๋ ๊ฐ๋จํ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๊ฐ๋ฐํ์ต๋๋ค. ์ฝ 700-850 o C์ ์๋ ์จ๋์์ ์ด ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ ์ฒ๋ฆฌ๋ ์ด๋งค์ ํ์์ฑ์ ์์ ๊ณ ๋๋ ธํ๋ธ๋ฅผ ์คํธ ๊ธฐํ์ ์ง์ ์ฆ์ฐฉํ์ฌ ํฉ์ฑ ํจ์จ์ฑ์ ๋์ด๋ ๋ฐ ์ ๋งํ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ํ๋ฌ์ต๋๋ค. ๊ณต์ ์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ด ์ํ๋ฉ๋๋ค. ์ด์ํ ์์กฐ์์ ์์ธํค์ผ๋ก 30๋ถ๊ฐ ๊ธฐํ ์ธ์ฒ, 35-38% ์ผ์ฐ์์ ๊ธฐํ ์์นญ, 850 o C์์ ๊ธฐํ ์ด์ฒ๋ฆฌ, 700 o C์์ ์์ธํธ๋ ์ฃผ์ ๋ฐ ์ง์ ๊ฐ์ค์ ๋ณด๊ดํ ๋ค์ ๋๊ฐํฉ๋๋ค. [12]
ํซ ํ๋ผ๋ฉํธ CVD
๋ชจ๋ ์ฒ๋ฆฌ ์์คํ ์์ ๋นํจ์จ์ฑ์ ์ฃผ์ ์์ธ ์ค ํ๋๋ ํฉ์ฑ์ ์ํด ๋์ ์จ๋๋ฅผ ์ ์งํด์ผ ํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ CVD ๊ณต์ ์ ์๋ ์จ๋๋ฅผ ๋ฎ์ถ๋ฉด ์๋์ง ํจ์จ์ฑ์ด ํฌ๊ฒ ํฅ์๋ฉ๋๋ค. ํํ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ์ ๊ฐ์ด๋ ํ๋ผ๋ฉํธ(HF-CVD๋ผ๋ ๊ณต์ )์ ๋์์ผ๋ก ๋ฎ์ ์จ๋(~550 o C)์์ ์์ฐ๋์์ต๋๋ค. ํ๋ผ๋ฉํธ๋ ์ง๊ณต์ ๊ฐ๊น์ด ๋ถ์๊ธฐ์์ ์ฝ 2000 o C ๋ก ์์ด๋๊ณ CVD ์ฑ๋ฒ์์ ์ ์ ๋๋ ๊ฐ์ค๋ฅผ ๊ฐ์ดํ๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ์ด ํ๋ผ๋ฉํธ๋ฅผ ์ถ๊ฐํ๋ฉด ๊ณ ์๋ ๋๋ ธํ๋ธ๋ฅผ ํฉ์ฑํ ์ ์์ง๋ง ์จ๋๋ฅผ 750 o C ์ด์์ผ๋ก ๋์ด๋ฉด ์์น ์๋ ๋น์ ์ง ํ์๊ฐ ์ฆ์ฐฉ๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ํ๋ฌ์ต๋๋ค. ๊ธฐ์กด CVD ๊ณต์ ์ ๋ํ ์ด๋ฌํ ๋ณ๊ฒฝ์ ํฉ์ฑ ํจ์จ์ฑ์ ํฌ๊ฒ ํฅ์์ํฌ ์ ์๋ ์ ์ฌ๋ ฅ์ด ์์ต๋๋ค. [13]
ํ๋ผ์ค๋ง ๊ฐํ CVD
ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ์ ํต ์์ฑ ์๋๋ ์ ์ ๊ฐ์ค๋ฅผ ํ๋ผ์ฆ๋ง W ์์ผ๋ก ์ด์จํํจ์ผ๋ก์จ ๊ทน์ ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐ์ํฌ ์ ์์ต๋๋ค. ํ๋ผ์ฆ๋ง ๊ฐํ ํํ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ(PECVD)์ ํ์๊ฐ ๋ ์ฝ๊ฒ ํ์ฐ๋๋๋ก ํ๊ณ ๋๋ ธํ๋ธ์ ์์จ์ ์ฆ๊ฐ์ํต๋๋ค. ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ ๋ ๋จ์์ ์ง๋ฅ๋ฅผ ํ๋ ค ์์ฑํ๊ฑฐ๋, ๋ณด๋ค ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๊ณ ์ฃผํ ์ ๋ฅ(13.56MHz๊ฐ ์ฐ์ ํ์ค)๋ก ์์ด์ด ์ฝ์ผ์ ํตํด ๊ฐ์ค๋ฅผ ์ฌ๊ธฐ์์ผ ์์ฑํ ์ ์์ต๋๋ค. ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ์์ฑํ๋ ค๋ฉด ๊ฐํ ์ ๋ฅ๊ฐ ํ์ํ์ง๋ง, ์ฉ๊ด๋ก์ ์๋ ์จ๋๋ฅผ ์ ๋ฐ ์ด์ ๋ฎ์ถ ์ ์๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ํ๋ฌ์ต๋๋ค. ๋์ผํ ์คํ์์ ์ ๊ธฐ์ฅ์ ์ธ๊ฐํ๋ฉด ์ฑ์ฅํ๋ ๋๋ ธํ๋ธ ์ฌ์ด์ ์ ๋ ฌ์ด ๋ฐ์ํ๊ณ ์ ๊ธฐ์ฅ์ ๊ฐ๋๋ ์ ๋ ฌ ์ ๋์ ๋น๋กํ๋ค๋ ๊ฒ์ด ๋ฐํ์ก์ต๋๋ค. ๋ํ NH3๊ฐ ํํ์์ ๊ฐ์ค์ ํจ๊ป ํํ๋๋ฉด ๋๋ ธ ํ๋ธ ํต ์์ฑ ์๋๊ฐ ์ฆ๊ฐํฉ๋๋ค. ์ด๋ NH3 ๊ฐ -300V ์ด์์ ๋ฐ์ด์ด์ค ์ ์์์ ๋น์ ์ง ํ์๋ฅผ ๊ฐ์ฅ ๊ฐํ๊ฒ ์์นญํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋๋ค . ์ด๋ฌํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ๋น๊ต์ ๋ฎ์ ์จ๋์์ ์ ๋ ฌ๋ CNT์ ์์จ์ ๋์ฌ ํฉ์ฑ ํจ์จ์ฑ์ ๋์ด๋ ์ ํ๋ฆฝ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ ๊ณตํ๋ฏ๋ก ์ ๋งํฉ๋๋ค. [14]
์์ฉ ํ๋ก๊ทธ๋จ
ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ๊ฐ ๊ด๋ฒ์ํ ๊ฑฐ์์ ๋ฐ ๋ฏธ์์ ์์ฉ ๋ถ์ผ๋ฅผ ๊ฐ์ง๊ณ ์๋ค๋ ๊ฒ์ ์์ฌ์ ์ฌ์ง๊ฐ ์์ต๋๋ค. ํฉ์ฑ ๋ฐฉ๋ฒ์ด ๊ฐ์ ๋จ์ ๋ฐ๋ผ ์ธ์ ๊ฐ CNT ๊ธฐ์ ์ ๊ตฌํํ๊ธฐ ์ํ ๊ด๋ฒ์ํ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ ์งํ๋๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ฌ๊ธฐ์๋ ๋ช ๊ฐ์ง ํฅ๋ฏธ๋ก์ด ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ๋ํด ๋ ผ์ํฉ๋๋ค.
SWNT-ํด๋ฆฌ๋จธ ํ์์ ์ง
๋จ์ผ๋ฒฝ ๋๋ ธํ๋ธ๋ ํ์๊ด ์ฐ์ ์์ ์ ๋งํ ๋ฏธ๋๋ฅผ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ์ง์ ๊ฐ๋ฅํ๊ณ ํจ์จ์ ์ธ ํ์ ์๋์ง ์์คํ ์ ๋ ๊ฐ๊น์ด ๋ค๊ฐ๊ฐ๊ฒ ํฉ๋๋ค. P3OT ํด๋ฆฌ๋จธ์ SWNT์ ๋ณตํฉ์ฌ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ฉด 3์ธ๋ ๋ฐ๋ง ํ์ ์ ์ง์ ํจ์จ์ ๊ฐ์ ํ๋ ๋ฐ ๋์์ด ๋ ์ ์๋ค๋ ๊ฒ์ด ์ ์ฆ๋์์ต๋๋ค. ๋๋ ธํ๋ธ์ ๋งค๋ ฅ์ ๊ธธ์ด-์ง๊ฒฝ ๋น์จ์ด ๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ ๋์ฑ ํด๋ฆฌ๋จธ์์ ์์ํค์ ํ์ฐ์ ์ํ ์ฐ์ํ ๊ฒฝ๋ก๋ฅผ ์ ๊ณตํ๋ค๋ ๊ฒ์ ๋๋ค. ์ด๋ ํด๋ฆฌ๋จธ์ ์๋์ SWNT๋ฅผ ๋ํํ๋ฉด ์ ์์ ์ ํ ์ด๋๊ณผ ์บ๋ฆฌ์ด ์ด๋์ฑ์ ๊ฐ์ ํฉ๋๋ค. ๋ํ CNT์ ๊ณ ์ ํ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ฐ ์ด์ ํน์ฑ์ ํ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋๋ ธํ๋ธ-ํด๋ฆฌ๋จธ ๋ณตํฉ์ฌ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ฉด ํ์ ์ ์ง์ ์ธ์ฅ ๊ฐ๋์ ์๋ฅ ์ ํฌ๊ฒ ๋์ผ ์ ์์ต๋๋ค. ๋๋ ธํ๋ธ์ ๋์ ์ด ์ ๋๋๋ ๋งค๋ ฅ์ ์ธ ํน์ฑ์ ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ํน์ฑ์ ๋๊ท๋ชจ ํ์๊ด ๋์ฅ์ ๊ฑด์คํ ๋ ๊ณ ๋ คํ๋ ๊ฒ์ด ๋งค์ฐ ์ค์ํ๋ฏ๋ก ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ๋ ์ฐจ์ธ๋ ํ์ ์ ์ง์ ํ์์ ์ธ ๋ถ๋ถ์ด ๋ ์ ์์ต๋๋ค [15]
๋๋ ธ์ ์๊ณตํ์ CNT
์ ์ ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ๋ ์์์ง์ ๋ฐ๋ผ ํ์ฌ ์ฌ๋ฃ๋ ๋๋ ธ ์ค์ผ์ผ ํ๋ก์์ ์ฌ์ฉํ๊ธฐ์ ๋๋ฌด ๋นํจ์จ์ ์ผ ๊ฒ์ด๋ผ๋ ๊ฒ์ด ๋ถ๋ช ํด์ก์ต๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด, ๊ตฌ๋ฆฌ๋ ํ์ฌ ์ง์ ํ๋ก์ ์ํธ ์ฐ๊ฒฐ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์ฌ๋ฃ์ด์ง๋ง, ์์ ์ค์ผ์ผ์์๋ ์ ํญ๋ฅ ์ด ๋๊ณ ์ ๋ฅ ๋ฐ๋๊ฐ ๋ฎ์ต๋๋ค. ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ๋ ๋์ ์ ๋ฅ ์ ๋ฌ ์ฉ๋๊ณผ ์์ ์ ์ธ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ฐ ์ด์ ํน์ฑ์ผ๋ก ์ธํด ์ง์ ํ๋ก์ ์ํธ ์ฐ๊ฒฐ์ ๊ตฌ๋ฆฌ๋ฅผ ๋์ฒดํ ์ ์๋ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ผ๋ก ์ฐ๊ตฌ๋๊ณ ์์ต๋๋ค. [16]
๋ํ, ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ๋ ์ ๊ณ ํจ๊ณผ ํธ๋์ง์คํฐ์ ๋ฐ๋์ฒด ์ฑ๋๋ก ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋์ฒดํ๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉ๋์ด ์์ CNT-FET๋ฅผ ๋ง๋ค์์ต๋๋ค. ๋จ์ผ SWNT๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๋ ๊ฐ์ ์ฃผ ์ ๊ทน์ ์ฐ๊ฒฐํ์ฌ ์ ์ ์ ๋ฌ๊ณผ ์ฅ์น ์์ ์ฑ์ ๊ฐ์ ํฉ๋๋ค. ํธ๋์ง์คํฐ๊ฐ ์ผ์ ์ ์ ์ฅ์น์ ๊ธฐ๋ฐ์ ํ์ฑํจ์ ๋ฐ๋ผ CNT๋ ๋ฐ์ดํฐ ์ ์ก ์๋๋ฅผ ๋์ด๊ณ ๋๋ ธ ์ค์ผ์ผ ์ ์ ๊ตฌ์ฑ ์์๋ฅผ ์ค๊ณํ ์ ์๋ ์ ์ฌ๋ ฅ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ต๋๋ค. [17]
CNT ๊ธฐ์ ์ ์์ ์ ๊ตฌํ์ ๋ํ ํ์ฌ์ ๊ณผ์ ๋ฐ ์ ํ
ํ์ฌ ํ์๋๋
ธํ๋ธ ์ฑ์ฅ ๋ฉ์ปค๋์ฆ์ ์์ ํ ์ดํด๋์ง ์์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ด๋ฌํ ๋ฏธ์ธ ๊ตฌ์กฐ์ ํฉ์ฑ์ ์กฐ์ํ๋ ๊ฒ์ด ์ด๋ ค์ ์ต๋๋ค. ์ฌ์ค, ์ง๊ธ๊น์ง์ ํฉ์ฑ ๊ณต์ ์ ์ํ์ฐฉ์ค๋ฅผ ํตํด์๋ง ์ต์ ํ๋์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์ฑ์ฅ ๋ฉ์ปค๋์ฆ์ ์ดํดํ๊ธฐ ์ํ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ ์งํ ์ค์ด์ง๋ง, ์ง๊ธ๊น์ง ํ์๋๋
ธํ๋ธ ๊ธฐ์ ์ ๋ํ ์์๋ ์ด๋ฅผ ์์ฐํ๋ ๋ฐ ๊ด๋ จ๋ ๊ณต์ ์ ์์ ํ ์ดํดํ๋ ์ฐ๋ฆฌ์ ๋ฅ๋ ฅ์ ์์ง๋ฅด๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ ๋ค๋ฅธ ์ฅ์ ๋ฌผ์ ํ์๋๋
ธํ๋ธ๊ฐ ๋ง์ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ํฐ ์ ์ฌ๋ ฅ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ง๋ง, ํ์ฌ ์์ค์ ๋์ ์๋ ๋ชจ๋ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ๋์ฒดํ ๋งํผ ์ถฉ๋ถํ ๋ง์ ์์ผ๋ก, ์ถฉ๋ถํ ๋ฎ์ ๋น์ฉ์ผ๋ก ์์ฐ๋์ง ์์๋ค๋ ๊ฒ์
๋๋ค. ์ต๊ทผ ๋ถ์์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด, SWNT๋ฅผ ์์ฐํ๋ ๋๋ ์์ฐ ๋น์ฉ์ ๊ทธ๋จ๋น ์ฝ 1,706๋ฌ๋ฌ์
๋๋ค. ์ด ๋น์ฉ์ ์๋น ๋ถ๋ถ(์ฝ 80%)์ ํฉ์ฑ ๋จ๊ณ์์๋ง ๋ฐ์ํฉ๋๋ค(๊ทธ๋ฆผ 5). ๋ถ๋ช
ํ, CNT๊ฐ ์คํ ๊ฐ๋ฅํ ๊ธฐ์ ์ด ๋๊ธฐ ์ ์ ํฉ์ฑ ๊ณต์ ์ ํจ์จ์ฑ์ ๊ฐ์ ํด์ผ ํฉ๋๋ค. [9] MWNT๋ ํฉ์ฑ ๋น์ฉ์ด ์ ๋ ดํ์ง๋ง, ๊ณ ์๋, ๊ณ ํ์ง ๋๋
ธํ๋ธ์ ํค๋น ์์ ์์ง ์์ฐ๋์ง ์์์ต๋๋ค. ํ์ฌ์ ์ฅ์ ๋ฌผ์๋ ๋ถ๊ตฌํ๊ณ , ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ํตํด ํ์๋๋
ธํ๋ธ ๊ธฐ์ ์ ๊ด๋ฒ์ํ ๊ตฌํ์ด ํ์ค์ ํ ๊ฑธ์ ๋ ๋ค๊ฐ๊ฐ๊ณ ์์ต๋๋ค.
์ฐธ๊ณ ๋ฌธํ
- โ๋ค์์ผ๋ก ์ด๋:1.0 1.1 1.2 Charlier, JC, ๋ฐ Sumio Iijima. ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ์ ์ฑ์ฅ ๋ฉ์ปค๋์ฆ. MS Dresselhaus, G Dresselhaus, Ph. Avouris(ํธ์ง์) ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ: ํฉ์ฑ, ๊ตฌ์กฐ, ํน์ฑ ๋ฐ ์์ฉ ๋ถ์ผ. (55-79์ชฝ). New York: Springer, 2001.
- โ Seo, JW, ๋ฐ L. Forrรณ. ๋๋ ธ์ ๊ธฐ๊ธฐ๊ณ ์์คํ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ๊ตฌ์กฐ์ ํน์ฑ. S. Saito ๋ฐ A. Zettl(ํธ) ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ: ๊ทธ๋ํ์ ์์ ์ค๋ฆฐ๋. (pp. 135-70). ๋ด์: Elsevier, 2008.
- โ Ebbesen, TW ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ์ ๋๊ท๋ชจ ํฉ์ฑ.Nature (1992) 358, 220 - 222
- โ๋ค์์ผ๋ก ์ด๋:4.0 4.1 4.2 Mann, David. ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ์ ํฉ์ฑ. MJ O'Connell(ํธ์ง) ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ: ํน์ฑ ๋ฐ ์์ฉ ๋ถ์ผ(19-50์ชฝ). ์บ๋ฆฌํฌ๋์์ฃผ ๋ฉ๋กํํฌ: Taylor and Francis, 2006
- โ Guo T. et al. ๊ดํ ํ๋ฌ๋ ์ ์์ฒด ์กฐ๋ฆฝ. J. Phys. Chem. 1995, 99, 10694-97
- โ๋ค์์ผ๋ก ์ด๋:6.0 6.1 6.2 6.3 Dai, Hongjie. ๋๋ ธํ๋ธ ์ฑ์ฅ ๋ฐ ํน์ฑํ. MS Dresselhaus, G Dresselhaus, Ph. Avouris(ํธ์ง์) ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ: ํฉ์ฑ, ๊ตฌ์กฐ, ํน์ฑ ๋ฐ ์์ฉ ๋ถ์ผ. (pp.29-51). New York: Springer, 2001.
- โ๋ค์์ผ๋ก ์ด๋:7.0 7.1 7.2 Joselevich, E., Dai, HJ; Liu, J.; Hata, K.; Windle, A., ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ ํฉ์ฑ ๋ฐ ์กฐ์ง. Top Appl Phys 2008, 111, 103-166
- โ๋ค์์ผ๋ก ์ด๋:8.0 8.1 Jacques, D. et al. ๋ค์ค๋ฒฝ ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ ํฉ์ฑ. ์์ฉ ์๋์ง ์ฐ๊ตฌ ์ผํฐ(2003)
- โ๋ค์์ผ๋ก ์ด๋:9.0 9.1 Isaacs, JA et al. ๋จ์ผ๋ฒฝ ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ ๊ณต์ ์ ๊ฒฝ์ ์ ํ๊ฐ. J Nanopart Res, Springer. (2009)
- โ Muir, Alastair. ๊ฑฐ๋ํ ํ๋ก์ ํธ์์ ํ๋ก์ธ์ค ํจ์จ์ฑ ๊ณ์ฐ. http://web.archive.org/web/20091217103304/http://www.isixsigma.com:80/library/content/c031208a.asp (2009)
- โ Futaba, DN et al. ๋ฌผ ์ง์ ๋จ์ผ๋ฒฝ ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ์ ๋์ญํ. Phys. Rev. L. 056104 (2005)
- โ Badour, CE et al. ์ธ๋ถ ์ด๋งค๋ฅผ ์ถ๊ฐํ์ง ์๊ณ ์คํ ์ธ๋ฆฌ์ค ์คํธ 304์์ ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ ํฉ์ฑ์ ์ํ ๊ฐ๋จํ ์ด CVD ๋ฐฉ๋ฒ. Carbon 47(2008), 313-347.
- โ Jayatissa, AH, K. Guo. ํ๋ผ๋ฉํธ ์ง์ ๋๊ธฐ CVD์ ์ํ ์ ์จ์์์ ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ ํฉ์ฑ ๋ฐ ์ด๋ค์ ์ ๊ณ ๋ฐฉ์ถ ํน์ฑ. Vacuum 2009, 83, 853โ856
- โ Chowala, M. et al. ํ๋ผ์ฆ๋ง ๊ฐํ ํํ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ์ ์ด์ฉํ ์์ง ์ ๋ ฌ ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ์ ์ฑ์ฅ ๊ณต์ ์กฐ๊ฑด. J. Appl. Phys. 2001, 90, 5308-5317
- โ Landi, BJ; Raffaelle, RP; Castro, SL; Bailey, SG, (2005). ๋จ์ผ๋ฒฝ ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ-ํด๋ฆฌ๋จธ ํ์ ์ ์ง. ๊ด์ ์ง์ ๋ฐ์ : ์ฐ๊ตฌ ๋ฐ ์์ฉ(2005) 13: 165โ172
- โ Banerjee, K. ๋ฐ Srivastava, N. ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ๊ฐ VLSI ์ํธ ์ฐ๊ฒฐ์ ๋ฏธ๋์ธ๊ฐ? ์ 43ํ ์ฐ๋ก Design Automation Conference(2006) ํ์๋ก 809-814
- โ Daenen, M. et al. ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ์ ๋๋ผ์ด ์ธ๊ณ: ํ์ฌ ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ ๊ธฐ์ ์ ๋ํ ๋ฆฌ๋ทฐ. (2003)